中古 NIKON NSR 2005 i10C #9261832 を販売中

ニコンNSR 2005 i10Cウェーハステッパーは、半導体デバイスの製造に使用される生産グレードのリソグラフィ装置です。このリソグラフィーシステムは、スキャナとして知られているツールのより大きなクラスの一部であり、超高倍率でチップの個々の層をズームインして撮影することで高精度を実現します。NIKON NSR 2005I10Cウェーハステッパーは、NIKON NSR 2005 i9Cシリーズのベアボーン版で、予算に配慮した量産工場に適しています。スペースとコスト効率の高いユニットで、タイトな宇宙運用に最適です。さらに、このステッパーは、パルス幅変調フォーカス補正、同時光学アライメント、マーク・フィールド再構築の改善など、より良い動作を保証するために多くの進歩を備えています。NSR-2005I10Cウェーハステッパーは、フォトマスク露出、アライメントとオーバーレイ、波形制御、データ取得など、集積回路の製造に必要なすべての主要なステップをカバーすることができるマシンです。このツールには12 ″ x 12 ″ステージが装備されており、フレームサイズが5,796mm x 4。455mmの6 ″および8 ″のウェハサイズを扱うことができます。さらに、レジストコーティングのタイプA、 B、 Cを取り扱うことができ、最小ショット速度は95nm/sです。オペレータの安全性を高めるために、このモデルは振動分類装置クラス2の定格に準拠しており、システムを騒音保護された環境で動作させることができます。このマシンは、便利な表示モード、通常モードとポップアップモードにも対応しており、さまざまなタイプのウエハアダプタを備えたキャリアの使用を容易にする柔軟なトランスポートインタフェースを備えています。光学的には、NIKON NSR-2005 I 10 Cウェーハステッパーには、UVやIRレンジで動作可能な大口径照明ユニットが装備されています。これにより、長時間の焦点距離でも高エネルギー露出が可能です。さらに、高速重複画像取得設備を備えており、迅速かつ正確なアライメントとオーバーレイ精度を実現しています。さらに、精密な微調整を素早く行うことができます。NIKON NSR-2005I10Cウェーハステッパーは、さまざまな半導体デバイスを製造するための効率的で信頼性の高いツールです。その高度なリソグラフィ技術とコンパクトなデザインは、多くの異なるタイプの生産グレードのアプリケーションのための魅力的なオプションになります。さらに、アセットはすべてのプロセスで正確な精度を保証し、最新の安全規制に準拠しています。