中古 NIKON NSR 2005 i10C #9239348 を販売中

NIKON NSR 2005 i10C
ID: 9239348
Stepper, 4" Reticle, 6" 1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C Wafer Stepperは、集積回路やその他の半導体コンポーネントを作成するために使用される精密イメージングマシンです。この装置は、精度の高いウェーハやチップの製造を可能にするように設計されています。ウェーハの各層にダイパターン、コンタクトホール、ビア、その他の回路形状を作成できます。NIKON NSR 2005I10Cのビームスポットサイズは5 um、開口数は0。47です。10インチF2.5の光学機器と0.75X還元レンズを搭載し、優れた画質を実現しています。また、DUV(深紫外線)ソース、Mx860ビームポジションコントローラ、その他様々な次世代コンポーネントを備えており、市場で最も先進的なウェーハステッパーの1つです。ステッパーは、優れたオーバーレイ制御を維持しながら、最大0。08ミクロンの解像度を達成することができます。また、10ワットまでの幅広いパワーレベルに対応でき、最大45秒の露光時間にも対応できます。さらに、この機械は、シリコン、石英、ガラスなどのさまざまな基板で動作するように設計されています。ウェーハが適切に処理されエッチングされていることを確認するために、NSR-2005I10Cはまた、ウェーハを正確に整列させるために、さまざまなセンサーとアライメントシステムを備えています。3Dアライメントシステム、パターンセンタリングユニット、マイクロバンドルアライメントマシン、金型選択ツールが含まれています。さらに、ウェーハを画像処理中に繊細に処理するために、エアベアリングテーブルを使用します。NIKON NSR-2005I10Cは、効率的かつ正確に動作するように設計されており、欠陥を最小限に抑えた高品質な画像を作成できます。幅広い基板に対応できるため、集積回路の作成において汎用性を高めます。さらに、精密イメージング機能が組み合わさり、最小限の労力で優れた結果が得られます。
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