中古 NIKON NSR 2005 i10C #9236760 を販売中

NIKON NSR 2005 i10Cウェーハステッパーは、先進半導体製品の製造に使用されるハイエンド機器です。大型ウエハのイメージングが可能な、全自動のステップアンドリピート光学マイクロリソグラフィ装置です。このシステムは、ウェハレベルの光学系を6〜12インチの範囲で製造することができます。ニコンNSR 2005I10Cは、ニコンNSRシリーズのハイエンドリソグラフィーシステムの一部です。NSR-2005I10Cは、最高のパフォーマンスとコスト効率を提供します。このユニットは、交互のデュアルフィールド光学イメージング技術を使用して、両方の視野にわたって高い露出均一性を生成し、一度にウェーハの広い領域にわたってドーズ露出の変化を最小限に抑えます。デュアルフィールド光学技術により、最大25mmの大きな露出領域を可能にし、1回の撮影で大きな基板領域を撮影することができます。NIKON NSR-2005I10Cには、クラス最高のユニークな露出ユニットがあります。露出ユニットは、再構成可能なコンデンサーレンズ、ライトシャッター、および電極とベゼルを備えたウェハチャックで構成されています。このツールは、3つの電動ステージを使用して、イメージを基板に張り直す、アスペクト比、およびリダイレクトを実行します。露出の均一性が高く、プロセス変動が少なく、ダウンタイムが少ない露出装置です。NSR-2005 I 10 Cにはマルチヘッド/マルチビームイメージングアセットも採用しており、1つの露光プロセスで複数の露光フィールドを生成することができます。このモデルは、非常に小さなフィーチャーサイズ、正確なオーバーレイ位置、および広範囲のレジスト露光条件で優れた画像品質を生成することができます。この装置は、X-、 Y-、およびZ軸に1。5マイクロメートルの合計精度を持ち、0。2マイクロメートルまでの解像度が可能です。このシステムはドライクリーンラン機能を備えているため、濡れたプロセスを必要としません。NSR 2005 I 10 Cは、ユーザーフレンドリーで効率的に設計されており、自動基板アライメント、自動露出最適化、リアルタイムの写真レチクル検査、複数のIDと絞り設定のカーブフィット解析を提供します。このユニットは、多言語対応のグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も提供しています。GUIにより、ユーザーはマシンのプロフェッショナルイメージング機能に簡単にアクセスできます。NSR 2005 i10Cは、最も要求の厳しい光学マイクロリソグラフィー用途に対応するように設計された信頼性の高い強力なウェーハステッピングマシンです。優れた性能とコスト効率を提供し、幅広い露光条件で優れたイメージング結果を得ることができます。このツールは、リアルタイムの写真レチクル検査、ドライクリーン機能、およびマシンのイメージング機能に簡単にアクセスできるユーザーフレンドリーなGUIを備えています。