中古 NIKON NSR 2005 i10C #9236759 を販売中

NIKON NSR 2005 i10Cは、高度に自動化された半導体生産のニーズに対応するために設計された最先端のウェーハステッパーです。最先端の光学系、精密モータ制御、高速通信機器を駆使し、効率的かつ正確なデータ転送を実現します。NIKON NSR 2005I10Cの堅牢な機械設計は、高度なX-Yステージと高速で高精度な高速軸スキャンシステムを使用して、基板やウェーハを素早く配置します。また、ウェーハステッパーは非接触で非破壊的なローディング方式を採用しており、最大50個の基板またはウェーハを安全にロードおよびアンロードすることができます。統合されたエッジクランプユニットにより、ステッパーは薄型または歪んだウェーハと基板を適切に取り扱い、安定した位置に保つことができます。i10Cの光学系は、4 ×の対物レンズ、10ミクロンのスポットサイズレーザー、200/254 mmまでのスキャンフィールドを使用して、最も正確で信頼性の高いウェーハイメージングを提供します。レーザーは毎秒16から40,000のスキャンおよび0。4ミクロンまで解像度を達成するために調節可能な速度です。高度な光学機器には、イメージング前にサンプルの焦点位置を確立するための表面センシングカメラが付属しています。さらに、オンボードトポグラフィ計算は、イメージング中の曲面の自動補正を提供します。さらに、NSR-2005I10Cには、イーサネット、RS232、およびPowerbronzeプロトコルを介してステッパーから直接通信できる高度な通信ツールがあります。この機能は、ウェーハステッパーを完全に制御し、オペレータに継続的なリアルタイムステータスを提供します。結論として、NSR 2005 i10Cは業界をリードするウェーハステッパーであり、競合するステッパーよりも精度、速度、精度が向上します。最先端の光学系、高度なX-Yステージ、通信資産、および表面検出カメラを備えたこのウェーハステッパーは、高度に自動化された半導体製造に最適なパフォーマンスとコスト削減を実現します。