中古 NIKON NSR 2005 i10C #9232572 を販売中
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ID: 9232572
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 1995
Stepper, 4"
MCS2 Basic
Option: SMP
Reticle loader
Stage
Operation panel
Wafer loader
Lens controller
Wafer sensor
System: NEST
Hard disk
Storage drive
Illumination type: Normal
Wafer stage:
Chuck type: Flat, 4"
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope: Movable
Wafer alignment: FIA, LSA
Auto focus: Multi
Wafer loader:
Loader type
OF Type: Flat
Flat zone: Flat
In-line: Right
Cassette: Left, Right
Control rack position: Right
Reticle loader: Reticle size, 5"
(13) Slots
No PPD
No barcode system
Chamber type ASAHI
1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10Cは、最先端の光学、センサー、精密スキャン技術で構成されたウェーハステッパーです。主に半導体業界で使用され、集積回路などの電子部品を正確に製造しています。NIKON NSR 2005I10Cは、最大200mm (7。87インチ)のウェーハサイズに対応でき、多機能ステージ、照明光学機器、最先端のフィードフォワードおよびゾーナルスキャンアルゴリズム(FWA)で構成されています。ステッパーの露出フィールドサイズは30mm x 30mmで、アライメント精度は0。75ミクロン/デバイスです。同等のツールよりも超短波長(UV/DUV)照明、調整可能な照度制御およびパターン変形機能を備えています。NSR-2005I10Cの光学系は、最適化された光学系と高精度の多機能ステージで構成されています。この光学系には、最先端の二重テレセントリック複合照明とイメージングユニットが含まれており、オブジェクトレンズとイメージングレンズの両方がテレセントリックである。これにより、解像度とコントラストが向上し、より広い視野が得られます。NIKON NSR 2005 I 10 Cの多機能段階は、優れた平坦性、表面精度、滑らかさを提供し、微細かつ正確なアライメントを可能にします。また、優れたトルク特性を持つモータを使用し、優れた精度とスキャン速度を提供します。Zonal Scanning Algorithm (FWA)は、正確で安定したアライメントを実現する高いダイナミックレンジ・イメージングを実現します。NIKON NSR-2005 I 10 Cは、高解像度、コントラスト、スループットを実現する高性能イメージングマシンを搭載しています。様々なセンサーや画像処理アルゴリズムを活用し、高速かつ高精度な画像キャプチャを実現しています。このツールは、サブピクセルパターンを処理することができ、高精度のパターン配置を保証します。NSR 2005 I 10 Cは、困難で多様な生産要件に優れた性能を提供するように設計されています。機能豊富な資産設計により、信頼性が高く、プロセスの柔軟性と拡張性が向上します。ステッパーは高度な集積回路の生産に最適で、優れたコスト効率を提供します。
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