中古 NIKON NSR 2005 i10C #9205851 を販売中
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ID: 9205851
Stepper
Resolution: 0.45
NA: 0.57
Exposure wave length: i-Line
Reduction: 1/5
Expose field: 22 x 22 - 17.9 x 25.2
Alignment accuracy: 0.09 (|x|+3s).
NIKON NSR 2005 i10Cは、半導体生産のニーズに応える次世代の高性能ステップアンドスキャン装置です。このステッピングシステムは、高度な画像処理アルゴリズムと高可用性を提供します。NIKON NSR 2005I10Cは、同社独自の最新の深紫外線光源を使用し、優れた処理再現性で1。0 nmの画像解像度を実現した最先端のウェーハステッパーです。ユニットのステップアンドスキャンモーション機能は、すべてのリソグラフィーのニーズにより効率的なソリューションをお客様に提供します。NSR-2005I10Cは、優れた性能と信頼性と高度なオートメーションを提供します。その機能には、1。0nm製造用の高解像度イメージモードと、敏感な操作のための10nJ/cm2な低用量モードが含まれます。NSR 2005I10Cは、独自の画像処理アルゴリズムとEasyRideインテリジェントコントローラを備えており、パターンデータとプロセス条件に基づいて操作を監視および調整します。このマシンには、生産性とスループットを支援しながら手動介入の必要性を減らすことができる多数のオートメーション機能が装備されています。NSR 2005 I 10 Cは、最大100個のウェーハを同時にロードすることで、高効率のスループットを実現します。また、自動検査ツールを使用すると、高速ウェーハと機能解析が可能になり、問題の迅速な発見と対処が可能になります。さらに、このツールは強力なフィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ(FPGA)を備えており、イメージセンサーを搭載しており、毎秒最大800回の露出を読み取り保存できます。このアセットは、高精度なアライメントに最適化された高度なステップアンドスキャンサブシステムも提供します。NIKON NSR-2005 I 10 Cは、さまざまなリソグラフィのニーズに対応する信頼性の高い強力なソリューションです。高解像度のイメージングとソリッドオートメーションにより、顧客は一貫した信頼性の高い出力を確認できます。高いスループットと高度な画像処理アルゴリズムにより、多種多様なデバイスの生産を容易に管理できます。
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