中古 NIKON NSR 2005 i10C #9198154 を販売中

NIKON NSR 2005 i10C
ID: 9198154
Stepper, 6" Process: PEP(D).
NIKON NSR 2005 i10Cは、NIKONの先進的なウェーハステッパーです。これは、0。25 nm(ナノメートル)の優れた分解能を持つ電子ビームリソグラフィに特化したハイエンド半導体の生産のために設計されています。高解像度かつ高度なアライメント技術により、極端紫外線(EUV)や電子ビームレジスト構造を極めて精密かつ再現可能にし、先進的な半導体デバイス製造を可能にします。NIKON独自のステージとレンズを組み合わせたデュアルスピン制御装置により、最高のサイズのイメージングでも高い精度とアライメントを実現します。ニコンNSR 2005I10Cの照明源は25kV加速電圧であり、ウエハステッパーは様々なレジスト素材やフィーチャーサイズに対応できます。機械の機内加速モジュールは材料のスループットを最適化し、過剰照明機能は正確なパターニングを保証します。NSR-2005I10Cは、ウエハーをユニット内を移動する際に、レジスト画像の高いアライメントを維持するオートフォーカスシステムを搭載しています。このマシンはまた、すべてのマシン操作を単一のユーザーインターフェイスに統合する使いやすいソフトウェア制御を備えています。多言語、マルチリージョンマシンは、メモリデバイスの生産から、高度な生体分子構造、およびゲノミクス研究のためのコンポーネントまで、世界中のアプリケーションを可能にします。設計の面では、NSR 2005 I 10 Cはコンパクトなフレームと軽量な負荷を備えており、効率的な運用のために自動生産ライン内に設置することができます。さらに、デュアルスピン制御ツールは、優れた速度と平坦性を備えた高解像度イメージングのための非常に正確な動きを可能にするユニークな同心スピンドルアセットを使用しています。NIKON NSR-2005I10Cには、反復可能な振動絶縁モデルが搭載されており、画像の鮮明性を向上させ、イメージエラーを低減します。さらに、ウェーハの温度安定性を向上させる環境制御機能を内蔵し、セルフモニタリング機能により機器を効率的に稼働させます。NSR 2005I10Cは全体的に、高品質の半導体を製造するために設計された高度なウェーハステッパーです。高度なアライメント技術、柔軟なソフトウェア機能、効率的な環境制御により、ニコンNSR 2005 I 10 Cはハイエンド半導体の生産を最適化します。
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