中古 NIKON NSR 2005 i10C #9085273 を販売中

NIKON NSR 2005 i10Cウェーハステッパーは、半導体・フォトマスク加工に使用される高精度露光ツールです。優れた性能と解像度、妥協のない精度と信頼性を兼ね備えています。これにより、今日利用されている幅広いウエハサイズとアプリケーションの最高画質が保証されます。NIKON NSR 2005I10Cは、ステージ位置の不安定性を最小限に抑えるために設計された特殊な高耐久性プラスチックコートガラスレイアウトを使用したターンテーブルステージを備えています。ターンテーブルは、内蔵モータードライブと自己整列モータストラドルを使用しており、ウェーハ上の+/-5 µmの精度を可能にします。ウエハーは400mm × 400mmの範囲で動かすことができ、反復性の率は0.3µmです。ウェーハは、1kWハロゲンランプ、ハロゲン光源、コンピュータ制御パルス幅変調ドライブで照らされます。これにより、目的の結果を得るために正確に制御可能な露出パラメータを使用することができます。さらに、高度な冷却システムにより、均一な温度と最適な露出均一性、および高いスループットが保証されます。NSR-2005I10Cには、高度なリニアフォトダイオードと2つのCCDで構成されるSynchroScanイメージングデバイスが装備されています。このイメージングシステムは、自動クリティカル寸法測定、ステージアライメント、TTLアライメント、パターンピーク、マルチフィールドインプリントなど、幅広い機能と機能を可能にします。これは、構造物を0.4µm以下まで検査しても、高解像度で高精度に行うことができます。NIKON NSR-2005 I 10 Cウェーハステッパーには、オートメーションとモニタリング機能もあります。これは、手作業を減らし、ミスを防ぐのに役立ちます。さらに、ステッパーはデュアルポート出力ボックスとシリアルI/Fまたはイーサネットを使用したリモートコントロール機能を備えています。これにより、遠隔操作、データ収集、ステッパーのさまざまな機能の制御の面で柔軟性が向上します。全体として、NSR 2005 i10Cは比類のない精度、柔軟性、パフォーマンスを提供します。ウェーハステッパーは、最高の画質のために、半導体製造プロセス全体を合理化するための幅広い露光パラメータとオートメーションおよび監視機能を提供します。その結果、NSR 2005 I 10 Cウェハステッパーは、半導体およびフォトマスク製造に不可欠なツールです。