中古 NIKON NSR 2005 i10C #293606710 を販売中

ニコンNSR 2005 i10Cは、高精度で高性能なウェーハステッピング装置です。ニコンが開発した超短露光時間と高いスループットが特徴です。このシステムは、非常に高速なスキャンを必要とする大容量メモリと高速デバイスのスループットを最大化するように特別に設計されています。ディープUVエキシマーレーザー、高精度光学、ダイレクトイメージングユニットを内蔵しています。NIKON NSR 2005I10Cは、高速イメージング機能と超短露光時間を活用し、さまざまなウェハトンネリング技術を提供しています。その優れたオーバースキャン精度は、精密なリトグラフィープロセスに最適です。可変イメージング角度により、エッチングパターンをより正確に制御できます。NSR-2005I10Cの光学系は0。75の超高NAを備えており、超高精度で線形歪みを低減します。高動的変調は、正確なオーバーレイ精度を保証し、欠陥を低減し、16 nm以上の解像度を向上させます。また、簡素化された高度な光学設計により、収差を低減し、正確なウェーハ処理を提供します。NIKON NSR-2005 I 10 Cは、その性能を高める様々な機能を備えています。このツールにはセルフモニタリング機能が内蔵されており、オペレータは簡単に資産のトラブルシューティングを行うことができます。さらに、オートフォーカスのアライメント機能により、フォーカス位置の精度と再現性が大幅に向上します。また、NSR 2005 I 10 Cにはマルチステージスキャンモデルがあり、複数のパターンエリアでウェーハを素早くスキャンすることができます。この装置は、光学系の使用率を向上させ、生産性とスループットを向上させるために設計されています。要するに、NIKON NSR-2005I10Cは、精密で信頼性の高い効率的なウェーハ処理のために設計された高度な高品質のウェーハステッピングシステムです。高速イメージング機能、超短露光時間、多段スキャンユニットにより、大容量メモリ、高速デバイス用途に最適です。NIKONの先端光学技術は精密なスキャンおよび改善された決断を保障します。その様々な機能により、高いスループットと優れたパフォーマンスを提供します。