中古 NIKON NSR 2005 i10C #293587661 を販売中

ニコンNSR 2005 i10Cは、チップ生産に革命をもたらした画期的なウェーハステッパーです。このステップは、KLA-Tencor計測機器に基づいてデバイス機能を繰り返します。市場で最も精密なビーム形状、サイズ、位置制御設定の1つである特許取得済みのテーパードイマージョンイルミネータ（TII）を使用しています。ステッパーのコンタクトモードスキャン機能と4次元サンプルデータ出力により、高い精度が得られます。NIKON NSR 2005I10Cには2つの垂直積層レンズがあり、TIIの指数および落下ビームがウェーハとレチクルに向けられています。レンズは回転する球面を内蔵しており、光を正しく曲げてウェーハ上に画像を生成することができます。レンズはまた、光ビームの傾きを調整することができ、ウェーハ上のパターンの正確なスキャンとイメージングを可能にします。ステッパーはまた、高精度脱磁率と倍率を備えており、1次焦点は0。1ミクロン、2次焦点は0。05ミクロンの精度があります。NSR-2005I10Cは高効率の投影レンズシステムを備えており、露光時間わずか2。5秒で最大10ステージを実行できます。これは、ウェハが従来のステッパーよりもはるかに速くスキャンされたパターンにさらされることを意味します。また、高い空中画像範囲を備えているため、さまざまなパターンを複数の詳細レベルで正確に生成することができます。さらに、ステッパーはレチクルサイズの広い範囲を扱うことができ、さまざまな用途での使用に適しています。NIKON NSR-2005I10Cは、レーザー出力と露光設定の信頼性の高い計測ユニットとその電子制御のおかげで、信頼性が高いです。また、自動ビーム形状、サイズ、位置制御を備えており、このステッパーを使用すると一貫した結果が得られます。ステッパーは、最適な性能を確保するために時折クリーニングと定期的な熱処理だけで、メンテナンス要件が低いことが特徴です。さらに、TIIマシンは非常にエネルギー効率が高く、エネルギーコストを低く抑えます。結論として、NSR 2005I10Cは、ウェーハ上の複雑なパターンを高速で正確に生成することができる画期的なウェーハステッパーです。信頼性が高く、メンテナンス性が低く、高効率なため、チップ生産に費用対効果があります。