中古 NIKON NSR 2005 i10 #9243867 を販売中

NIKON NSR 2005 i10ウェハステッパーは、薄型半導体ウェハ上で高精度なパターンを生成するために使用されるハイエンドリソグラフィーシステムです。i10は、露光用とアライメント用の2つの光源を使用したバイナリステッパーです。x-y方向の0.5µm精度を最小限に抑えてウェーハを正確に揃えることができ、幅広いリソグラフィ作業に最適です。機械は高度な光学系、ソフトウェア、メカニックを使用して精密作業を行います。その光学系は、超長波長レンズと長距離レンズを備えた20位置のレンズタレットで構成されており、ウェハ全体に完全なイメージング場を確保しています。i10はレンズを広範囲の動きで動かし、最適な露出時間を確保して正確な画像を作成します。i10にはユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスが装備されており、リソグラフィープロセスのプログラマビリティと迅速なデータアクセスを可能にします。ソフトウェアは、オートメーションとオートメーション関連のオプションのより広い範囲のために、他のデジタルシステムの接続をサポートしています。機械の高度なメカニズムは、チャック上のウェーハの正確かつ連続的な位置決めを保証します。ウエハーが浮くことを可能にする独特な空気/機械軸受けシステムを使用して、ウエハーは露出時間を通して場所にとどまることを保障します。これにより、高精度な露光時間と全体の歩留まり率が向上します。また、振動や傾きの誤差を低減するスムーズなウェーハ駆動機構、狭い作業スペースのためのコンパクト設計のハウジング、高解像度露出用のオプションのコンピューター制御露出窓など、幅広い機能を備えています。この組み合わせにより、i10は最も厳しいリソグラフィ用途に最適です。結論として、NIKON NSR-2005I10ウェーハステッパーは、最も精度の高いリソグラフィ用途向けに設計されたハイエンドリソグラフィーシステムです。精度と最適な露光時間を確保するための高度な光学、ソフトウェア、およびメカニクスを提供しています。その機能の広い範囲は、それがタイトなスペースやアプリケーションの広い範囲で使用することができます。この組み合わせにより、i10は任意のリソグラフィ作業に理想的な選択肢となります。