中古 NIKON NSR 2005 G8C #9148221 を販売中

NIKON NSR 2005 G8Cは、半導体デバイスの高速かつ正確な生産を実現するために設計された高精度ウェーハステッパーです。本装置は、最上位5ミクロンのスポットサイズ低減（SSR）対物レンズを搭載し、最大解像度12。5nmを実現しています。高度なトラバースシステムで強化された精密な自動化されたアライメントとモーションコントロールは、高い歩留まりと低い無駄を提供します。また、ウェハサイズが最大200mmまでの広いワークスペースを備えており、幅広いデバイス構造に対応することができます。このG8Cは、高度な露出制御アルゴリズムを使用して、最大の均一性とバッテリのアプローチを保証します。さらに、露出ユニットはオートフォーカスのオプションで強化されており、正確な自動露出が可能です。G8Cは5軸ステッチ機能も備えており、複数の画像をステッチして1つのオーバーレイマスクを作成できます。これにより、最適なスループットを実現し、ウェーハの処理とコストを最小限に抑えます。また、ステッパーのウェーハ処理時間は非常に高速で、スループットは1時間あたり最大600ウェーハです。また、露出あたりのコストが低く、ウェーハ全体のスループットも低く、コスト効率の高い運用が可能です。さらに、G8Cは拡張されたステップとリピート機能を備えているため、ウェーハに合わせてパターンを素早く調整し、サイクルタイムを短縮できます。G8Cは柔軟で操作しやすいように設計されており、さまざまな基板サイズと形状の幅広い調整範囲を備えています。このツールはまた、幅広い光学構成を提供し、技術の進化に応じて調整する完全なリソグラフィの柔軟性を可能にします。さらに、G8Cにはデジタルオートメーションアセットが搭載されており、迅速で簡単で信頼性の高い操作が可能です。NSR 2005 G8Cは、半導体デバイスの製造において高速かつ正確な精度を提供するように設計された高精度ウェーハステッパーです。最先端の光学系、自動露出制御モデル、オートフォーカス機能、高スループットレート、柔軟なリソグラフィ、およびデジタルオートメーション機器を備えています。これらの利点により、さまざまなデバイス・アプリケーションに最適です。