中古 NIKON NSR 2005 G8C #293817947 を販売中

ニコンNSR 2005 G8Cは、レチクルや半導体ウェーハの加工に特化した先進的なリソグラフィーツールです。広い視野（30mm x 24mm）を備えており、従来の草原よりも大きなレチクルのイメージングが可能です。このG8Cはまた、より高い解像度で高精度のイメージングを可能にする、高い数値開口度（NA）を備えています。G8Cの高度なイメージング機能により、最も困難な形状や複雑な3D構造の製造に最適です。G8Cには、レチクルとウェーハの高精度アライメントのための超精密な2軸スキャン装置が含まれています。これにより、画質を損なうことなく、個々のレイヤーを正確に配置できます。また、G8Cはマルチフィルターシステムを備えており、異なる波長の光をイメージングプロセスで使用することができます。これにより、ウェーハ上の不透明な材料と透明な材料との最良のコントラストが保証されます。NSR 2005 G8Cは、優れたコントラスト性能を提供します。高度な光学設計を採用し、デジタルフォーカスエキスパートユニットやエアギャップイルミネーションなどの独自技術とのコントラストを高めます。Air Gap Imagingの精度が向上し、超高数値絞りが可能になり、レチクルやウェーハの手動後処理が不要になりました。NIKON NSR 2005 G8Cは、高真空環境での動作を可能にする様々な真空ポンプを搭載し、メンテナンスを最小限に抑えながら優れた耐久性と信頼性を提供します。このG8Cには、イメージングを開始する前にレチクルとウェーハを取り扱い、位置決めするための自動ステージも含まれています。これにより、スループットを損なうことなく、多層プロセスの精度を確保できます。ステージは、最大200の異なる材料と層の厚さの高度な基板とアライメント検出も可能です。NSR 2005 G8Cは、高精度で複雑な構造物を高精度に効率的に製造するための高度な機能を備えた包括的なリソグラフィーマシンとウェーハステッパーです。高度な半導体デバイスやその他の複雑な構造を高解像度、大判サイズで製造するのに最適です。