中古 NIKON NSR 2005 G8C #293665024 を販売中

NIKON NSR 2005 G8Cは、半導体製造プロセスで使用される高度なウェーハステッパーです。Si/SOI（シリコンオンインシュレーター）や先進光学デバイスの製造に特化して設計されています。高精度のアライメント装置やその他の先進技術により、ウェーハを可能な限り高精度に加工できます。G8Cは、大きなワークサーフェイスを備えたユニークな往復ステージデザインを備えており、大規模なウェハの製造を可能にします。高度なステージは、幅広い動きを可能にし、2軸と3軸の両方の動きをサポートします。ステッパーは、直径5〜8インチのウエハーを取り扱うことができます。そのシステム全体は、高精度、再現性、安定性で設計されています。ステッパーは高速オートアライメントも備えています。これにより、オペレータはウェーハと自動化されたアライメントユニットを正確に揃えることができます。ステッパーはまた、自動アライメントプロセス中にアライメントマークを検出する高解像度のイメージングマシンを提供します。G8Cは、NIKONの実証済みの5ビームリソグラフィーツールも使用しています。このアセットにより、必要な光学部品の数を削減し、高いスループットと高精度パターニングを可能にします。5x減速バンドパスフィルターは均一な照明および明確なパターンを提供します。また、高精度なサーボモータ駆動をG8Cし、高精度かつ再現性の高い高速パターニングが可能です。ステッパーはまた、高出力レーザー源を備えており、さまざまな種類の基板にパターンを迅速かつ正確に適用することができます。レーザーはまた、G8Cが広範囲のクリティカル寸法範囲にわたって高いアスペクト比パターンを正確に形成することを可能にします。これにより、大量の生産作業に最適です。G8Cの高度なモデルアーキテクチャにより、メンテナンスと保守が容易になります。この装置は直感的なユーザーインターフェイスを備えており、オペレータはフォーカス、投与量、露出などのパラメータを簡単に調整できます。また、システムには診断ユニットが内蔵されており、迅速かつ簡単なトラブルシューティングが可能です。全体として、NSR 2005 G8Cウェーハステッパーは、高度なウェーハ製造要件に対応する信頼性の高い堅牢なソリューションです。その高度な機能と技術は、ウェーハが最高レベルの精度と精度で製造されることを保証します。さらに、直感的なユーザーインターフェイス、内蔵の診断機、高速オートアライメントにより、すべての製造アプリケーションで簡単かつ効率的に使用できます。