中古 NIKON NSR 2005 EX 12B #9316104 を販売中

NIKON NSR 2005 EX 12Bは、半導体ウェハ上に極小部品を作成するために使用されるウェーハステッパーです。この機械はフォトリソグラフィを使用して、望ましい集積回路パターンを生成するために、回路設計を含むマスクを通してウェハを照射します。NIKON NSR 2005 EX12Bは、0。4ミクロンの精度でウェーハ配置を精密に制御することができる二軸ステージ装置を備えています。さらに高度なステージシステムでは、平面トラッキングを使用して、ウェーハが同じ光学面に留まるようにします。NSR 2005 EX 12Bには、フルフィールド、右端、イメージステッチ、プログラマブルズームなど、さまざまなステッピングシステムを装備できます。フルフィールドユニットはウェーハ表面全体を完全に露出させることができ、右端のマシンは露出のエッジをより細かく制御します。イメージステッチツールを使用して、複数の個々の露出を1つの大きなショットに重ね合わせることができます。さらに、NSR 2005 EX12Bには、高度なアクティブ・アライメント・アセットが装備されています。このモデルは常にウェーハアライメントを監視し、露出パラメータを正確に制御できます。また、精密なエッジ配置に特化したアルゴリズムを採用し、露光位置合わせ時の誤差を低減します。NIKON NSR 2005 EX 12Bは、高解像度の収差補正システムを採用しています。このユニットは、高度な取り外し可能なレンズマシンと自動校正機能を通じて、水平平度、B状態、楕円度、昏睡、その他の歪み、曲率、およびフィールド曲率などのさまざまな収差を補償します。最後に、ユーザーの安全を確保するために、ニコンNSR 2005 EX12Bには健康モニタリングツールが組み込まれています。温度、圧力、振動など様々な機械機能を監視し、異常が検出された場合は機械をシャットダウンします。NSR 2005 EX 12Bは全体的に革新的で精密な技術であり、複雑な集積回路構造の製造を可能にしています。その高度なステージモデルとアクティブなアライメント装置は、正確で正確な露出を制御するために必要な制御を提供し、収差補正システムと健康モニタリングユニットは、一貫した結果と安全性を確保するのに役立ちます。