中古 NIKON NSR-1755i7B #293825587 を販売中
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ID: 293825587
Stepper
Electric source: NEMA Box / CVCF / UPS
Chamber type: ASAHI / SENDAI S810
Reticle Microscope: 15 mm to 17.5 mm.
NIKON NSR-1755i7Bは半導体産業のために設計された非常に洗練されたウェーハステッパー装置であり、特に半導体製造施設の高度なリソグラフィープロセスのニーズに応えます。この最先端の機器は、NIKONが誇る一連のウェーハステッパーの一部であり、シリコンウェハ上で高精度のイメージングとパターニングを可能にするさまざまな革新的な機能と機能を誇っています。NIKON NSR 1755 i7Bは、NA (Numerical Aperture) 0。75の最先端のi-lineプロジェクションレンズを搭載し、ウェーハ上の複雑なパターンをパターン化するための優れた解像度と画質を提供します。このシステムには5倍低下投影オプティクスユニットが装備されており、ステッパーは150ナノメートルまでの解像度を実現し、高度な集積回路やメモリデバイスの製造に適しています。NSR-1755i7Bは、365ナノメートルの波長で光を発する、洗練されたi-lineエキシマレーザー光源によって供給されます。この光源は、ステッパーにウェーハ上のフォトレジストを露出させるために必要な照明を提供し、フォトマスクからシリコン基板へのパターンの高い忠実度と精度での転送を可能にします。ステッパーは幅広いフォトレジスト材料に対応でき、プロセスの最適化とカスタマイズの柔軟性を実現します。NSR 1755 i7Bの主要な強みの1つは、高度なアライメントとオーバーレイ機能です。これは、リソグラフィープロセス中の正確なパターン登録とアライメントに不可欠です。多自由度の洗練されたステージツールを搭載し、フォトマスクに対する正確な位置決めとアライメントを可能にします。この高いアライメント精度により、信頼性の高いパターン転送が可能になり、ステッパーは高度な半導体デバイスの製造に必要なタイトなオーバーレイ公差を達成できます。NIKON NSR-1755i7Bは、高度なイメージングおよびアライメント機能に加えて、生産性を高め、製造プロセスを合理化するために、さまざまな高度なオートメーション機能を搭載しています。このアセットには、自動ウェハハンドリング、アライメント、フォーカス最適化のためのインテリジェントソフトウェアアルゴリズムが装備されており、手動による介入の必要性を減らし、オペレータのエラーを最小限に抑えます。このオートメーション機能により、高スループット生産が可能になり、半導体製造ワークフローとのシームレスな統合が容易になります。NIKON NSR 1755 i7Bは、長期間にわたって安定した一貫したパフォーマンスを確保するために、堅牢で信頼性の高いプラットフォームで設計されています。このモデルは、機械的な障害を最小限に抑え、露出時の最適な画像安定性を確保するための振動絶縁装置を備えています。さらに、ステッパーには高度な監視および診断システムが装備されており、リアルタイムであらゆる問題を検出および修正し、半導体製造における高いプロセス歩留まりと信頼性を確保します。全体として、NSR-1755i7Bウェーハステッパーはリソグラフィ技術の頂点を表し、半導体メーカーに最先端の集積回路を製造するための高解像度パターニングと精密なアライメントを実現する強力なツールを提供します。NSR 1755 i7Bは、先進的な光学、アライメント機能、オートメーション機能、堅牢な設計により、半導体産業の厳しい要件を満たし、先進的な半導体製造プロセスの革新を促進する準備ができています。
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