中古 NIKON NSR 1755 i7B #9299962 を販売中

NIKON NSR 1755 i7B
ID: 9299962
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1994
Stepper, 6" 1994 vintage.
NIKON NSR 1755 i7Bは、高度な半導体プロセス向けの完全なリソグラフィーソリューションを提供する次世代ハイエンド露光ツールです。このウェーハステッパーはモジュラープラットフォームデバイスで、前任者と比較して設置面積が小さく、外観が大幅に改善されています。世界最小の歪みを持つ50%の視野(FOV)を提供し、要求の厳しい微細な線と超低K1リソグラフィに最適です。NIKON NSR-1755I7Bは、165mmのコンパクトなプラズマジェット源を備えており、広いフィールド(FL)とファン型(fFL)レンズを通して高効率な露光を可能にします。これにより、従来のシステムと比較してモデルのサイズを縮小し、優れた画質を確保するために、高い均一性と高い再現性を備えた市場をリードする性能を実現しました。NSR 1755 i7Bは、直感的な操作で10。4インチの高解像度大画面タッチパネルディスプレイを備えています。複雑なプロセスや基板を扱う場合でも、画質と安定性を高める高度なビジョン制御技術を備えています。また、AIによるイメージング制御、高精度アライメントの自動フォーカシング、底面反射防止機能、基板温度測定機能、ステージ歪み補正機能TTLRS2搭載しています。これらの機能は、優れたイメージング品質で高いスループットを提供します。ウェーハステッパーは、高速、0。6mm/sのデータポイント、3Gの加速/減速速度を備え、露光時間の短縮とスループットの向上を可能にします。さらに、デバイスの高速データシステムは、スループットをさらに向上させ、効率的なパフォーマンスをもたらします。このデバイスは、40nm〜450nm製造の層厚とトラック幅の幅広い用途に最適化されています。NSR-1755I7Bは、低消費電力と低ノイズ動作を備えており、環境に優しい性能を実現しています。交換可能なスポットソースにより、機械の寿命が延び、メンテナンス間隔が長くなり、ユーザーの負担が軽減されます。さらに、システムのオープンアーキテクチャは、役員、拡張性、柔軟なオプションを提供します。また、パターン評価ソフトウェアと互換性があり、コスト効率のためにDigital Imprintモジュールと強化することができます。全体として、NIKON NSR 1755 i7Bは、優れたイメージング品質とスループットの向上を実現し、ユーザーの負担を軽減する強力なウェハステッパーです。人間工学に基づいて設計され、効率的で環境に優しいため、高度な半導体プロセスに最適なリソグラフィーツールです。
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