中古 NIKON NSR 1755 i7B #9279749 を販売中

ID: 9279749
ウェーハサイズ: 6"
Stepper, 6" Wafer type: Flat Wafer loader type: Type I Leveling system: Claw sub-system Arm Main body with chamber Monitor RA Microscope Reticle loader: Mask, 5" Arm Reticle library: Single film 13-Slot Wafer stage: Chuck, 6" LC Mirror.
NIKON NSR 1755 i7Bウェーハステッパーは、半導体製造用に高性能なリソグラフィ装置シリーズです。このシステムは、第4世代のスキャナ、完全に統合されたリソグラフィー制御システム、および一連の高度なリソグラフィープロセスを備えたフル機能のリソグラフィープラットフォームです。特許取得済みの2段アーキテクチャを採用しており、高いオーバーレイ精度と欠陥検出が可能です。NIKON NSR-1755I7Bは、正確なフォーカス、特徴認識、ウェーハアライメントを提供する高度な光学系を備えています。また、光学系は、作業距離の延長と急斜面の低さに最適化されており、収差によるアーチファクトがないことを保証します。高度なリソグラフィープラットフォームは、10msの露光時間を高速に提供することができ、優れた画質を維持しながら高いスループットを実現します。NSR 1755 i7Bには、Impulsive Pattern Generator (IPG)、 Multi-Circle Exposure (MCE)、 Scan Matching Algorithm (SMA)など、NIKONの最先端のリソグラフィーアルゴリズムが事前に設定されています。これらのアルゴリズムにより、露出資源の最適な使用が可能になり、スループット時間が短縮されます。また、ウェハステッパーはパターン認識時間が最速であるため、基板洗浄時間を短縮し、高い歩留まりを確保します。さらに、NSR-1755I7Bには、ウェーハおよび組立・検査データをトラッキングする安全で信頼性の高い手段を提供する統合ロット管理システムが含まれています。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、リソグラフィ操作を簡素化し、最適なプロセス制御を保証します。このウェーハステッパーは、大量および多品種半導体製造用に設計されており、幅広い用途で使用することができます。NIKON NSR 1755 i7Bは、高度なリソグラフィープロセスのための正確な直接書き込みおよびアライメント機能を提供します。高速かつ高精度なため大量生産に最適であり、高度な機能により複雑なデバイスパターニングに適しています。最後に、このマシンは信頼性が高くユーザーフレンドリーであり、世界中のリソグラフィ機関に人気のある選択肢となっています。
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