中古 NIKON NSR 1755 i7B #9268107 を販売中

ID: 9268107
ウェーハサイズ: 6"
Stepper, 6" Flat wafer ASAHI S78 Chamber PLC Type: MELSEC F1-60 MR, F1-60 ER Variable reticle microscope: 15 mm and 17.5 mm AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 5517A Laser LSA Laser: 5 mW ITV Camera: RA CCD XC-77 Silicon wafer OF Sensor: NIKON UD Motor: 5.44:1 Wafer loader type: Type 1 No in-line Wafer carrier table: Left and right FIA Reticle, 5" Reticle case: 26 mm (13) Reticle slots No PPD / PD Rack type: Right Chamber temperature: Chamber: 23°C LATC: 22.6°C Power: 200 V, 3-Phase, 4 Wires, 75 Amps.
NIKON NSR 1755 i7Bは、半導体デバイス製造のための非常に正確なフォトリソグラフィを提供するように設計された最先端のウェーハステッパーです。このモデルは、高度な電子ビームリソグラフィ(EBL)システムを備えており、0。01 μ mまでの優れた機能分解能を実現しています。正確なステージアライメントを実現する重いフレーム構造を採用し、最新のNIKON Scan Angle Control (NSC)技術を採用し、ウェハの位置精度を向上させています。さらに、NIKON NSR-1755I7Bウェーハステッパーは、最大1。0秒/ダイの比類のない取得速度で、直接ダウン基板パターニングを実現し、露光時間を長くする必要がありません。高度なEBLシステムはまた、無敵の解像度、高速スキャン、優れたステージアライメント精度を提供します。このモデルには、高速スキャンおよび最適化されたパターンオーバーレイ用の高スループット、大面積スキャナ、および独自の高電圧光学システムが含まれています。EBL制御ユニットとNSR 1755 i7Bウェーハステッパーの間の高速通信により、オペレータは長時間露光時の位置の維持、パターンのスキャン速度とサイズの調整、およびその他のウェーハ前処理の設定など、複数のプロセス手順を正確に制御できます。また、ウェーハステッパーNSR-1755I7B高度なウェーハクランプ機能を備えており、異なる基板に挑戦した場合に正確な調整と迅速な変更を可能にします。その高精度な駆動システムは、幅広い動作条件にわたって登録精度と安定性を向上させます。このモデルは、パターン変換とスケール調整による自動アライメント機能も提供し、ユニークなエッジ検出器を使用して顕微鏡の下でウェーハをすばやく見つけることができます。最終的に、NIKON NSR 1755 i7Bウェーハステッパーは業界トップクラスの精度とスループットを提供し、大規模および小規模デバイスの製造に最適です。このモデルの高速スキャン機能、多種多様なリソグラフィ、調整可能なステージ設定により、幅広い先進的なデバイス製造プロセスに柔軟に使用できます。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより操作が容易になり、優れたパターン解像度と優れたプロセス性能により、あらゆるウェーハステッパーアプリケーションに最適です。
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