中古 NIKON NSR 1755 i7B #9250066 を販売中
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ID: 9250066
ヴィンテージ: 1993
Stepper
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (L + R)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1993 vintage.
NIKON NSRシリーズ1755 i7Bは、精度、性能、洗練された光学系を組み合わせたミッドエンド自動ウェーハステッパーです。このステッパーは、高速チューニング、より速い露出時間、および他の多くの機能によってサイクル時間を短縮し、スループットを加速するように設計されています。露出面積455×455mmの17インチ、4K解像度の液晶ディスプレイを備えています。内部光学系には、NIKON CFI60技術が搭載されており、被写界深度とクローズイン収差補正が向上しています。広い数値絞りは、高解像度のイメージングにも役立ちます。NIKON NSRシリーズ1755 i7Bは、高精度エンコーダを使用したクローズドループ式ステッパー制御システムにより、プロジェクションレンズのずれを検出し、修正することができます。ステッパーには、レンズ温度ドリフトによるプロセス変動を低減する総合集中制御システム（TCCS）も内蔵しています。ステッパーは正確な線量とフォーカス制御が可能で、あらゆる露出でウェーハの結果を保証します。ステッパーは、幅広いリソグラフィとレジスト材料、ならびにより効率的な処理のための可変焦点および用量オプションをサポートしています。NIKON NSRシリーズ1755 i7Bは、優れたイメージングが要求されるアセンブリレベルの生産およびチップおよびボンド用途に最適です。コンパクトな設計とリモート機能により、このステッパーは工場、組立ライン、研究室での使用に特に適しています。ステッパーはユーザーの安全性と人間工学を念頭に置いて設計されており、高度な機能はユーザーに信頼性が高く効率的な生産サイクルを提供します。オープンソフトウェアプラットフォームは、サードパーティ製のツールを完全に統合して効率を高めることもできます。NIKON NSRシリーズ1755 i7Bは、優れた画質と生産速度を提供する信頼性と効率の高い自動ステッパーです。
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