中古 NIKON NSR 1755 i7B #9165599 を販売中

NIKON NSR 1755 i7Bウェーハステッパーは、高精度アライメントとリソグラフィのための卓越したプロセスを提供することにより、半導体製造業界に革命をもたらす画期的なツールです。ステッパーには、0。6 μ mの偏向精度を持つスキャン電子ビームデフレクタと、1。5kHzの最大スキャンレートがあり、優れたプロセス安定性と画質を提供することができます。また、7軸2列システムにより、0。7 μ m以内のアライメント精度が保証され、ウェーハが最高精度でアライメントされることを一貫して保証します。モータドライバIn-Deflection Axis Scanningは、ナノメートルレベルのスキャンのためのシングルウェーハステージの高精度の直接駆動制御を可能にします。また、ウェーハあたり1。5秒の高速サイクルタイムを実現しています。NIKON NSR-1755I7Bはまた、業界をリードする解像度が0。33 μ mで、典型的な従来のウェーハステッパーのほぼ2。6倍の範囲をカバーしています。ウェーハ基板上の高密度トランジスタパターンとフォトマスクパターンを正確に整合させるために、この分解能を容易に実装することができます。この装置には、X-YステージのX軸とY軸に対して各ウェーハを自動的かつ正確にセンターする自動4軸センタリングプログラムが装備されています。このセンタリングプログラムは、最大8インチのウェーハサイズに対応し、穴や位置合わせマークを持たず、手動と半自動の両方のセンタリングを実行するようにプログラムすることができます。NSR 1755 i7Bにはオープンインターフェースソフトウェアがあり、データのキャプチャ、ウェーハ画像の処理、アライメント手順、繰り返し精度などのプロセスのカスタマイズと最適化を可能にします。このソフトウェアはまた、ウェーハとフォトマスクのプロセスを簡素化するグラフィカル駆動の動作環境を提供します。全体として、ウェーハアライメントNSR-1755I7B優れた精度を提供する画期的なウェーハステッパーです。一貫した高解像度イメージングを実現し、サイクルタイムの短縮、歩留まりの向上、高性能生産を実現します。