中古 NIKON NSR 1755 i7B #9160458 を販売中

NIKON NSR 1755 i7B
ID: 9160458
ウェーハサイズ: 2"
Stepper, 2" Reticle size: 5".
NIKON NSR 1755 i7B Wafer Stepperは、主にマスクおよびレチクルレベルのリソグラフィ用途向けに設計された高性能イマージョンリソグラフィーイメージング装置です。このウェハステッパーには帯電防止はんだバンプイメージング技術が搭載されており、最小のはんだバンプでも微細な3Dイメージングが可能です。このシステムは82umの高解像度カメラを搭載しており、超高密度設計ルールの半導体チップの製造が可能です。さらに、軸上アライメント機能により、最大アライメント精度が保証され、ダイスループットが向上します。NIKON NSR-1755I7Bウェーハステッパーは、ウェーハに画像を転送するために使用されるレチクルと呼ばれるマスターパターンを作成するために使用されます。25。4mmのレチクルフィールドエリアを備えており、大きな露出フィールドの精密なイメージング、メモリチップなどの小型マイクロデバイスの高精度イメージングが可能です。通常、レチクルは石英で作られているため、ウェーハへの画像転送に非常に効率的です。このマシンには、パターンのダイ境界を自動的に検出しながら、フォーカス面の欠陥を監視および修正する高度なオートフォーカス制御が装備されています。これにより、タイトな設計ルールと高い歩留まりでの生産に最適です。NSR 1755 i7Bウェーハステッパーは、厳しい生産条件下での最高の効率と信頼性を目指して設計されています。高速レーザー投影アセットにより、最大1。6 GHzのスループットで、1時間あたり最大4,500ウェーハを実現します。このモデルは、各ショットの露出条件を最適化し、ウェーハのスループットと均一性を向上させる制御装置を備えています。この制御システムは、露光時間、線量、焦点の最適化も可能であり、絶対的なプロセス制御と安定性を提供します。NSR-1755I7Bウェーハステッパーは、ウェーハレベルのイメージングに最適なソリューションで、高いスループット、優れた均一性、信頼性の高い結果を提供します。高度なイメージング機能と最適化された照明を備えたパワフルで高性能なユニットで、精度と均一性を備えた優れたダイツダイパターンを保証します。高度なオートフォーカス制御により、優れたフォーカス面の安定性を確保し、このマシンは現代の半導体業界の高解像度ニーズに最適です。
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