中古 NIKON NSR 1755 i7B #293817949 を販売中
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ID: 293817949
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.54
Resolution: 550 nm
DCO: 140
Throughput (WPH): 63.
NIKON NSR 1755 i7Bウェーハステッパーは、半導体デバイスの製造における高度なウェーハレベルのリソグラフィ用に特別に設計された機械です。NSR-i (NIKON Scanning&Resolution)シリーズの最新鋭システムです。この先進的な装置は、2000 (250mm)ウェーハ/時間、FOUP/TOPローディング容量2000 FOUPs、最小機能サイズ2。5nm、数値または専用カメラ、および7"シリコンウェーハのステップを備えています。これにより、複雑な微小化デバイスの製造に最適です。NIKON NSR-1755I7Bの主な構成要素は、高解像度スキャナ、フィールドセレクター、マスクアライナー、ウェハトランスファーチャンバーなどです。高解像度スキャナを使用すると、システムは非常に小さなフィーチャーサイズを生成し、他の競合システムのほんの一部の時間に複雑な構造をイメージすることができます。このフィールドセレクタは、高品質のイメージングのための高いフィールド強度の形で柔軟性を提供するだけでなく、大面積の構造の迅速なイメージングのための低いフィールド強度を提供します。マスクアライナーは完璧なマスクアライメントを保証し、開発コストを最小限に抑えるために幅広い選択肢のマスクレベルを提供します。ウェハトランスファーチャンバーは、高度なロードポート機構と効率的なセキュリティ対策で設計されています。NSR 1755 i7Bはまた、高度なパフォーマンス向上ソフトウェアパッケージを備えており、ユーザーは精度、速度、生産性を向上させることができます。このソフトウェアインターフェイスは、ウェーハ分析、統計プロセス制御、および迅速なユニット設定のためのツールを提供します。また、ライブグラフィックスと統計プロセス制御データを提供する監視機能も提供しています。機械は高精度、強い構造および質の部品およびサポートと製造されます。安全機能と高度な製造技術を内蔵したこのツールは、操作で非常に信頼性が高く、優れた性能、精度、信頼性を提供します。カスタマイズ可能な機能の広い範囲で、NSR-1755I7Bは高度な微小化と複雑なデバイス構造の生産に最適です。
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