中古 NIKON NSR 1755 i7B #293643226 を販売中

NIKON NSR 1755 i7Bは、i-lineスキャン装置を利用したウェーハステッパーで、最大13インチのウェーハサイズのリソグラフィに使用できます。高いスループットと複数の露出能力を備え、高精度で信頼性の高い正確なデバイスパターンを可能にします。NIKON NSR-1755I7Bは、照明と投影光学を利用して、フィールド全体に均一な強度分布を提供するように設計されています。さらに、ウェーハステッパーはデュアルビーム投影システムを使用しており、露出間の画像クリティカル領域において安定した重複マージンを提供します。照明エネルギー、温度、照明領域など、露光条件が異なる場合でも、正確なパターニングを実現します。NSR 1755 i7Bは、露出条件を正確に監視および維持するように設計された露出制御ユニットを備えています。WFPEC （Wavelength-Focal Plane Programmable Exposure Control）マシンを搭載しており、照明や基板のわずかな違いを考慮した露光条件の調整が可能です。このツールは、マルチパワーキネティックエネルギー制御（MKEC）資産を備えた化合物であり、正確で再現可能なパターン作成を容易にします。NSR-1755I7Bには、振動のない振動絶縁モデル（VVIS）も搭載しています。ウェーハステッパーへの外部振動の影響を最小限に抑え、ほぼゼロのサーマルドリフトで安定した画質を保証します。この振動絶縁システムは、独自の温度制御ユニットと組み合わされており、急速な温度変化による熱膨張の影響を最小限に抑えることができます。NIKON NSR 1755 i7Bは、高精度で再現性の高いパターンを提供するように設計された高度なウェーハステッパーです。WFPEC （Wavelength-Focal Plane Programmable Exposure Control）、 MKEC （Multi-Power Kinetic Energy Control）、および安定した信頼性の高い露光条件と正確なデバイス・パターンを確保するために設計された振動なしの振動絶縁装置（VVVVIS）を備えています。NIKON NSR-1755I7Bは、優れた機能とともに、業界トップクラスの保証と満足のいくユーザーからの魅力的な評価も裏付けられています。