中古 NIKON NSR 1755 i7B #293635403 を販売中
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ID: 293635403
ウェーハサイズ: 2"
Stepper, 2"
Type1 Wafer loader
Flat wafer type
Wafer stage: Ball screw
Chuck type: Hole
Carriers: Left, right
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 5517A Laser
Electric source:
NEMA Box for CVCF
(2) NEMA Switches
Chamber:
Type: ASAHI
Size: 1500 mm
Temperature: 23°C
OF Detection: OMRON
No in-line
Variable reticle microscope
Reticle, 5"
FIA
NIKON Reticle library, Slot-13
No PPD / PD
Rack type: Right
PDP11 / 73 PC
LSA Laser: 5 mW
Lamp power: 1 kW.
NIKON NSR 1755 i7Bは、半導体製造における高度なフォトリソグラフィ用に設計されたウェハステッパーです。精度と解像度の様々なレベルで最大12インチまでのウェーハサイズを扱うことができる、完全に自動化されたディテール指向のマシンです。NIKON NSR-1755I7Bステッパーは、垂直アライメント装置を搭載し、位置を正確にキャリブレーションし、優れた精度で維持しながら、ミスアライメントを排除します。NSR 1755 i7Bはまた、優れた性能で正確な露出制御を提供する高透過照射器を備えています。NSR-1755I7Bはまた、高いスループットと正確な制御で信頼性の高いリソグラフィ生産を提供します。多彩な露光パターンを備えており、様々な用途に最適です。アライメントアルゴリズムは、正確な画像登録を保証し、エッジのアライメント、登録、フォーカシングなどの組み込み機能により、優れたリソグラフィ精度を実現します。ステッパーには、オートフォーカスシステムや、優れたウェハ品質を実現する収差補正ユニットなど、さまざまな高度なツールが搭載されています。さらに、NIKON NSR 1755 i7Bには、操作、データ管理、分析を容易にする直感的な制御/インターフェイスユニットが装備されています。すべての設定と調整は、専門のオペレータを必要とせずに簡単に実装できます。付属のX-Yリニアモータは、正確なフォトマスク変換を容易にし、自動校正機は高い位置合わせ精度を維持します。最後に、NIKON NSR-1755I7Bは、従来の光学系よりも優れたパターン分解能を実現する、新たに設計された画像処理ツールを使用しています。マイクロプロセッサとソフトウェアアルゴリズムにより、高精度かつ高精度なスキャンを実現し、優れたウェーハ再生品質を実現します。NSR 1755 i7Bは、さまざまな機能と先進技術を備えており、半導体製造の信頼性とコスト効率に優れたウェーハステッパーです。
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