中古 NIKON NSR 1755 i7B #293619990 を販売中

NIKON NSR 1755 i7Bウェーハステッパーは、数ナノメートルのサイズのデバイスを製造するために使用される最先端のプロジェクションフォトリソグラフィ機です。EBR （Exposure Beam Route）から、加工された各ウェハのアライメントと基板平坦度までの完全なリソグラフィーサイクルをサポートする、ダイレクトドライブ6フィールドの単波長リソグラフィーツールです。NIKON NSR-1755I7Bは、高度な投影レンズ、Reflection Objective （REX）、および優れた低マスク歪み性能を提供するデュアルリングホモゲナイザーを使用しています。この機器は、プログラマブルステージ、XYZウェハムーブメント、フォーカス検出を含む業界をリードする計測スイートを備えており、重要なレイヤーでの正確なレジスト開発とパターン作成を可能にします。NRK 1755 i7Bは、オフアクシス照明、アライメントモデルによって生成されるパターン、シームレスな自動アライメントなどの革新的なイメージング技術もサポートしています。インタラクティブ露光コマンドシステム、開発者最適化、ウェーハ温度制御を統合し、プロセス全体を管理しやすくします。ステッパーは信頼性が高く、厚い基板で高品質のデバイス製造をサポートします。このユニットは、短時間のレチクルからレチクルへの露出サイクルを確保するために、フィールドプログラマブルゲートアレイ（FPGA）を採用しており、電磁スキャナヘッド技術により、露光条件の低コストで自動制御された設定が可能です。高精度のステッピングモータ制御装置により、運転中に安定した露光量が得られます。フィールドからの欠陥管理ツールには、レーザパターンスキャナ、欠陥モニター、および中間欠陥モニターが含まれています。また、タッチパネル上に欠陥モニターから得られた画像を画像処理エンジンで表示します。NSR 1755 i7Bは、検査されたウェーハ上の不均一データを収集するImagePLUSセンサアセットと、欠陥レビューを行うDefectReviewソフトウェアもサポートしています。また、AutoAlignモデルもサポートしており、投影露出を行いながらパターン情報を迅速に取得し、ウェーハ登録を高速に調整できます。結論として、NSR-1755I7Bウェーハステッパーは、数ナノメートルまでの機能サイズのデバイスを正確に製造できる信頼性の高い最先端のプロジェクションフォトリソグラフィーマシンです。幅広いイメージング技術をサポートし、業界をリードする計測スイート、インタラクティブ露光装置、自動化されたアライメントツールを備えています。