中古 NIKON NSR 1755 i7A #9302607 を販売中

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ID: 9302607
ヴィンテージ: 1992
i-Line stepper Reticle, 5" Reduction ratio: 1:5 Expose field: 17.5 Resolution: 0.45 NA: 0.5 Global alignment: 0.18 um 1992 vintage.
NIKON NSR 1755 i7Aウェーハステッパーは、半導体製造のために設計された最先端の機械です。NIKONの先進露光技術を活用して設計されており、複数のチップの正確なパターニングを一度に実現します。ステッパーは、最新の露出装置、すなわちi7A位置精度を高めるためのインラインアライメントシステムと、多軸管理ユニットに加えて、高度なパターニング技術を組み込んでいます。このマシンの高度なパターニング技術は、複数のチップを同時に精密に登録できる独自のアライメントマシンを備えています。これにより、スループット時間を大幅に短縮し、ヒューマンエラーを最小限に抑えます。ステッパーは、0。02 μ mの高分解能レチクルアライメントツール(RA)アライメントツールを備えています。これにより、優れたオーバーレイウェーハをウェーハに、チップをチップに確実に接続できます。また、高度なプロセス制御のための組み込みZレベルの補償を提供し、デバイスの最高品質をもたらします。NIKON NSR 1755I7A Wafer Stepperは独自のモジュール技術を採用しており、ステップモードとスキャンモードの両方で精度とウェーハパターンを実行できます。この機械のユニークなモジュール技術は、従来のステッパーが達成することができるものよりもはるかに速い5-10nmほど薄い狭いラインのプロセスパターンを橋渡しすることを可能にします。また、0〜4umの幅広いステップレンジを内蔵しており、ステップリピータビリティは<0。5nmです。さらに、ステッパーには、優れたパターン精度を可能にする光学イメージング資産が含まれています。NSR-1755I7A Wafer Stepperには包括的な通信モデルがあり、遠隔監視と制御が可能です。ステッパーは、詳細なパラメータ設定を提供する直感的なユーザーインターフェイスと統合されています。さらに、装置は多様なプロセスおよび動作状態データを提供し、オペレータはその場でプロセスを監視、分析、制御することができます。このマシンはまた、リアルタイムで実行可能な座標を備えており、プロセス全体のエラーを減らすことができます。NIKON NSR-1755I7A Wafer Stepperは、生産チームの新しいメンバーを教育および訓練するための包括的な診断機能を備えています。さらに、高度なオートメーションにより、一貫したパフォーマンスと最適な出力を確保しながら、コストを削減できます。NSR 1755 I 7 Aウェーハステッパーは、精度と大量生産に優れた性能と信頼性を提供します。最新の機能と技術を備えたNIKON NSR-1755 I 7 Aウェーハステッパーは、最新の半導体製造事業に最適なソリューションです。
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