中古 NIKON NSR 1755 i7A #9279743 を販売中

NIKON NSR 1755 i7Aは、300 mm （12インチ）ウェーハ用に特別に設計されたハイエンドのフルフィールドスキャニングウェーハステッパーです。このスキャナは、低用量でも高いレベルのオーバーレイとCD（臨界寸法）精度を提供するために開発されました。NIKON NSR 1755I7Aは、7インチの対物レンズを搭載し、クアドラアライメントセンサやプログラマブルフォトダイオードアレイなどの2面アライメントマーク認識装置を備えており、正確なアライメントと登録が可能です。改善されたカメラ設計は、改善された色収差コントロールと優れた解像度を提供します。NSR-1755I7Aは、高度な磁束解析システムを備えており、高度なノードやメモリノードなどのさまざまなリソグラフィープロセスのために、高水準の露光制御とオーバーレイの高速アライメントを提供します。また、ウェーハステッパーはボトムアップ構成ユニットを備えており、ボトムアップ露出に遭遇した光学的および機械的不安定性を補正するため、最大フォーカスをサポートします。さらに、NIKON NSR 1755 I 7 Aにはプログラマブル収差補正器も搭載されており、均一な画質を実現するために、フィールドの深度制御とメンテナンスが強化されています。また、オートクロックスキュー補償機を搭載し、ラインエンドの短縮を最適化し、ラインエッジの粗さ（LER）を向上させます。NIKON NSR-1755I7Aは3ゾーンイルミネーションソースを採用し、スループットを向上させるためのスループット性能を向上させます。また、Nanoimprint Lithography （NIL）やX Projection Aligners （XPA）などの非フォトレジストマスク技術の使用もサポートしています。NSR 1755 i7Aは、高スループットと低コストのリソグラフィ用途に最適です。ウェハカラーマークを組み込んでアライメントマーク認識を簡素化し、様々な先進半導体フィルムで使用できます。このデバイスは、ステッパーの端にある振動源を最小限に抑え、可動性を最小限に抑えたアーティキュレーションを提供し、安定性を最適化する設計を備えています。NSR 1755I7Aは、コストを意識し、要求の厳しいウェーハステッピングアプリケーションに最適です。このウェーハステッパーは、全製品のNIKON標準保証や24時間365日対応のサポートなど、包括的で信頼性の高いサービスプランに裏付けられています。