中古 NIKON NSR 1755 i7A #9254168 を販売中
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ID: 9254168
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1990
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball screw
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (Left and right)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7Aウェーハステッパーは、半導体製造のために設計された高度な露出ツールです。これは、プロのパフォーマンスと革新の比類のないレベルを備えています。i7Aは、基板の高精度なアライメントとトラッキングを可能にする2軸電動ウェーハステージシステムを備えています。また、Adaptive High Step Accuracy （AHSA）と呼ばれる機能を備えており、高解像度パターンを高速かつ正確に処理できます。幅6〜200mmのサイズのウエハ加工が可能です。最大800mm/sの超高速度スキャンモードを備え、高精度コントローラを備えています。これにより、ウェーハ上のパターンの完全なフォーカス、アライメント、露出を確実にすることができます。また、サブフィールド処理と呼ばれるユニークな機能を備えており、複数のフィールドを同時に処理することができます。また、計測ツールの完全なスイートがあり、ユーザーは製造プロセスを監視することができます。i7Aには、FEM （Fast Extreme Multi-field）ソフトウェアと呼ばれる種類のソフトウェアも付属しています。このソフトウェアは、ユーザーに多種多様なパターン技術を作成する能力を提供し、複雑で複雑なデザインを可能にします。最後に、i7Aは最先端の安全機能を備えています。その高度な安全オプションには、デュアルサイドエアブラストファン、帯電防止バリア、緊急停止機能などがあります。これらのすべての機能は、動作中に最大限の安全性と信頼性を確保します。結論として、ニコンNSR 1755I7Aウェーハステッパーは、高度な半導体メーカー向けに設計された最先端の露光ツールです。パワフルなスキャン機能と計測機能、多目的なパターニングオプションを備えたこのi7Aは、深刻なウェーハ処理作業に最適なツールです。
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