中古 NIKON NSR 1755 i7A #9254167 を販売中
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ID: 9254167
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1991
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball screw
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Inline and cassette (Left)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7Aは、クリーンルーム環境で半導体ウェーハ上の集積回路を製造するために使用される高精度ウェーハステッパーです。プリプログラムされた設計に従ってウェーハ表面にパターンを作成するために光を使用する自動リソグラフィーツールです。NIKON NSR 1755I7Aは、露出面積420mm、フィールドサイズ5。7umの高いパターニング精度を提供するために設計されています。NSR-1755I7Aは2つの別々の光源が装備されています。ソースの1つは、248nmの波長と15nsのパルス長を提供するKrF Exculiteレーザーです。このソースにより、機械は忠実度の高いリソグラフィーパターンを製造することができます。NIKON NSR-1755I7Aはまた、光強度の検出のための浜松H8500光電子増倍器を備えています。NIKON NSR 1755は、この補助ソースを通じて、KrFエキスライトレーザーの光出力を正確に測定および制御することができます。高精度な設計に加えて、NSR 1755 i7Aも大容量で知られています。このウェーハステッパーは、2「-6」ウェハをステップするだけでなく、最大400mm正方形の露出パターンも可能です。また、1時間あたり最大30個のウェーハ処理が可能です。さらに、その露出ヘッドは、0.1µm最大セルサイズで正確で反復可能なステップアンドリピートパターニングが可能です。このマシンには、ユーザーがウェーハを目的の座標にすばやく配置できる高度なステージシステムも含まれています。また、幅広いユーザー設定可能なパラメータを備えており、ウェーハレベルの正確な制御を可能にします。このAPES （Automated Precision Exposure System）はオートフォーカス機能を備えており、露出設定を調整して常に高速かつ精度を維持します。ニコンNSR 1755 I 7 Aは、厳しい生産環境に適した非常に信頼性の高いウェーハステッパーです。それは安全なクリーンルーム操作を保障するために業界標準の安全規則に付着する高度の安全議定書と設計されています。メンテナンスの必要性が低く、堅牢な設計により、長時間の連続運転が可能です。NSR 1755I7Aは、クリーンルーム環境での複雑な半導体部品の製造に最適な信頼性の高い高性能ウェーハステッパーです。大容量、高精度、堅牢な設計により、利用可能な最も信頼性の高いリソグラフィーシステムの1つです。
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