中古 NIKON NSR 1755 i7A #9254113 を販売中

ニコンNSR 1755 i7Aは、950mm x 950mmの機器面積を持つ次世代の没入型マルチビームウェーハステッパーです。NIKON NSRシリーズの最新モデルは、露光時間を短縮した革新的なi7Aエンジンを搭載し、優れたイメージング機能と高スループットを提供します。NIKON NSR 1755I7Aは、システム全体のパフォーマンスを向上させるユニークなデジタルマルチビーム対応プラットフォームに基づいています。この特許取得済みユニットは、毎秒最大100回の露出を実現し、これまでにないスループットを実現します。光学機械は5xおよび1x減少の倍率の機能の両方の7ビーム投射用具を特色にします。この高度な資産により、スループットが大幅に向上し、精度と均一性が向上します。この光学系は、画像の柔軟性と安定したプラットフォームを確保するために、調整可能な線形ステージに取り付けられています。このモデルには、振動を最小限に抑え、耐用年数を延長するエアベアリング主軸が装備されています。NSR-1755I7Aは、薄膜石英からSOIウェーハ、厚いガラスまで、さまざまな基板で使用するために設計されています。垂直および対角の両方のウェーハ処理のための大きい自動負荷区域が装備されています。これにより、最大25個の8インチおよび8個の12インチのウェーハを一度にロードできます。この機器は、追加の変更を必要とせずに、クリーンルームや生産環境に適合するように設計されています。クローズドループEラスターやレチクル同定などの高度な技術により、露光時間と最小ステップサイズを高度に制御し、正確な画像処理を実現します。NIKON NSR-1755I7Aは、大量生産環境向けの高効率で強力なウェーハステッパーです。その高度なマルチビーム技術は、より高いスループットと均一性を可能にします。可変光学系は精密なイメージングを可能にし、自動負荷領域により幅広い基板を加工することができます。そのオープンアーキテクチャはメンテナンスコストを低く、全体的に維持し、NSR 1755 i7A多層プロセスアプリケーションに最適なユニットです。