中古 NIKON NSR 1755 i7A #9254111 を販売中
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NIKON NSR 1755 i7Aは、半導体デバイスの製造において、高精度かつ高精度な露光操作が可能な最上位ウェーハステッパーの代表例です。この画期的な装置は、SLED(超低エネルギー回折)リソグラフィ法を使用して、0.035µmなサイズのデバイスを作成することができます。NIKON NSR 1755I7Aの本体は、超精密段階と大規模な高解像度投影光学系で構成されています。ステージは、双軸設計を使用して、同時に、高精度の水平および垂直運動を保証します。高精度ガラス板と4点荷重レベリングユニットを装備し、5nm以内の位置精度に到達できます。また、振動絶縁には、差動事前測定機を搭載した高周波・低騒音の圧電素子を採用し、0。1m/s2程度の外部振動に反応させることができます。一方、投影光学ツールは、高解像度パターンの生成のための高速、高精度の露出が可能です。NIKONは、最大0。1mmサイズの特長を得ることができる4ミラー光学アセットのパイオニアです。さらに、ほこりなどの空気粒子を除去するための閉塞機構を備えており、より高精度で安定した細かいパターンを作成することができます。NSR-1755I7Aは、メモリ回路から論理回路まで、さまざまな製品を大量に生産することができます。高速・安定性・精度に優れ、パターン基板としても優れた性能を発揮します。また、高度な画像処理機能を搭載し、画像データの再現性と優れたエッチング制御を可能にします。さらに、革新的なEシャッターユニットは、高速パターニングと保安不良物質の安全な取り扱いを保証します。ニコンNSR 1755 I 7 Aを検討すると、ウェーハステッパー技術が進歩した印象的な技術の進歩が明らかです。最先端の加工能力、高精度の構造、革新的な機能の範囲を備えたこのマシンは、あらゆる産業施設に貴重な追加であることが保証されています。
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