中古 NIKON NSR 1755 i7A #9250068 を販売中
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ID: 9250068
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1990
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (L+R)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temp: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7Aは、高性能プロジェクションレンズを搭載した、正確で高精度な動作を実現するウェハステッパーです。この先進的な機器は、15 nmノード以下のために設計されており、完全に自動化された操作、優れたオーバーレイ精度、および業界平均より最大30％のスループットを備えています。NIKON NSR 1755I7Aは、標準モードから超高精度モードまで、ナノメートルレベルの精度で幅広い高度モードを提供しています。NSR-1755I7Aは、中性粒子光学に基づく新世代の投影光学を特長としています。このプロセスにより、投影倍率を上げることなく、15 nmノード以下での動作が可能になります。また、視野全体の投影像の均一性も向上しています。このステッパーは、CCDベースの自動アライメントシステムを追加し、高精度のウェーハアライメントを提供し、オーバーレイ精度を向上させます。NSR 1755I7Aは、12インチのウェーハステージを備え、比類のないランダウンタイム2秒と基板傾き補正ユニットを備えています。このマシンは、最大のスループットと歩留まりを提供し、-50°Cの非常に低温で動作することができ、マスクパターンの温度依存の過剰露出のリスクを低減します。また、NIKON NSR-1755 I 7 Aには全自動のプロセス制御ツールが搭載されており、手作業での介入なく正確かつ安定した操作が可能です。また、高度な高感度赤外線アライメントを備えており、光学アライメントパターンを必要とせずに高速露出アライメントを可能にします。NIKON NSR 1755 I 7 Aウェーハステッパーにより、複雑なマスクパターンを正確かつ均一に投影することができ、非常に高い露出品質を提供します。これは、モデルの高いスループット、低い所有コスト、卓越した性能とともに、次世代電子デバイスの大量生産に最適なソリューションです。
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