中古 NIKON NSR 1755 i7A #9250067 を販売中
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ID: 9250067
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1991
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Inline + Cassette (L)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
VT286
Camera control unit
Video converter 2
VDA1401A
(2) Plates
LSA Laser tube
LC-SIG4
WGA Laser tube
X & Y Ball screws
X, Y & Z Motor units
AFINTF AF68
HP / HEWLETT-PACKARD 5517A Laser head
AF Motor unit
CT Unit
Pre 1&2 Units
Cassette plate
Vacuum box
(2) Laser power supplies
Power supply
Fly eyes unit
(2) PLC CPU
Missing parts
1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7Aは、次世代半導体製造の要求に応えるために設計された最先端のウェーハステッパーです。このマシンは、デジタル光学技術を使用して、最先端の技術でタイトな機能制御と優れたオーバーレイを備えたフォトマスクの高解像度イメージングを生成します。装置は2つの露出ビームで構成されており、12mmから300mmまでの範囲の基板に対応できます。ウェーハ位置とアライメントの自動制御のためのステージに結合されています。高精度の3軸ステージと1軸チルト制御を組み合わせることで、イメージングに必要なすべての軸を再現可能に制御できます。0.25µm内でのアライメント精度を維持しながら、最大解像度の1.5µmに到達することができます。NIKON NSR 1755I7Aには、ユーザーが人間の介入を最小限に抑えて画像処理を制御できる自動プロセス制御プラットフォームが付属しています。この制御プラットフォームは、タスクサイクル全体で露光線量レベルとプロセスパラメータを監視および調整し、画像品質を最適化します。高い測定精度により、ウェーハ上の微細な欠陥を検出し、不適合が発生する前に投影イメージングシステムを停止することができます。さらに、高度なデータ分析とデータ管理ソフトウェアNSR-1755I7A付属しており、ユーザーは画像を分析し、さらなる分析のためにデータをキャプチャすることができます。このデータ分析および管理ユニットは、欠陥分析、用量データ、およびその他の品質管理パラメータの分析をサポートします。NSR 1755 i7Aは高い信頼性で構築され、冗長コンポーネントを組み込んで生産アプリケーションの一定の稼働時間を確保します。また、環境に配慮して設計されており、水とエネルギーの使用量を削減し、より良い環境を作り出します。機械は長期性能を保障する安全な操作および維持のために設計されています。要するに、NSR-1755 I 7 Aは次世代半導体製造の高い要求に応えるように設計された先進的で汎用性の高いウェーハステッパーです。そのデジタル光学技術と高度なプロセス制御プラットフォームにより、ユーザーは最高の精度要件で最適なイメージング結果を得ることができます。
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