中古 NIKON NSR 1755 i7A #9248848 を販売中

NIKON NSR 1755 i7Aは、大規模な生産ラインの要求に応えるために設計された、高精度、次世代のウェーハステッパーです。その機能は、卓越したスループットとタイトな機能とオーバーレイ登録を提供します。ニコンNSR 1755I7Aは、精密なウェーハアライメント、フィルムクロムの正確なアライメント、およびAE測定機能を備えた最大0。5 μ mのステップ&リピート登録精度を実現するために、ニコンの特許取得済みの超高解像度9軸スキャン装置を搭載しています。さらに、内蔵の分割光学ウェーハステッピングシステムは、複数のエクスポージャーをすばやく整列させるために、視野が重なり合うというユニークな機能を提供します。NSR-1755I7Aは、強力なWindowsベースの7Eコントローラによって駆動され、操作とプロセス制御を容易にするためのユーザーフレンドリーなインターフェイスと汎用性の高いパターン生成ツールを備えています。NIKON i-Vision Softwareパッケージも付属しており、欠陥検査やオーバーレイ制御機能を搭載しています。NIKON NSR 1755 I 7 Aは、機械部品の数を減らし、アライメント手順を簡素化する1顕微鏡アプローチを採用しています。これにより、露光時間が短縮され、高いアライメント速度でも高品質の画像を生成できます。NSR-1755 I 7 Aの他の機能には、同じフィールドに追加された複数のマスクを正確に配置できるマルチマスクアライメントツールが含まれています。地球のフィルムの反りの補償を可能にする自動化されたステッチモード；フィルターアライメントメトロロジーは、アライメント精度のための非標準パターンを排除します。さらに、NIKON NSR-1755 I 7 Aは、設定可能な液体レベル、複数のチャンバ構成、およびオプションのゾナー加圧オプションを備え、さまざまなプロセス環境に対応可能です。そのモジュラー設計は取付け、維持することを容易にします。全体的に、NIKON NSR-1755I7Aは、高速スループットと高精度の画像をタイトな登録、精度、オーバーレイ制御で提供するように設計されています。このウェーハステッパーは、大規模な生産ラインでのウェーハ加工に最適です。