中古 NIKON NSR 1755 i7A #9247254 を販売中

ニコンNSR 1755 i7Aは、複雑なマイクロスケールパターンの開発と製造に最適化されたハイエンドウェーハステッパー装置です。最大0.3µm分解能を持ち、直径200mmの基板加工が可能です。ステッパーは特許取得済みのNIKON N-Tiltステージ技術を使用しており、露出時にウェーハを高精度に調整することができます。NIKON NSR 1755I7Aは、イメージング精度を向上させるX/Y情報技術も搭載しています。イメージングオプティクスは、0。14倍、スループット0.4Gbpsの低減パターンを提供します。NSR-1755I7Aは、制御システム用と画像処理および計算ユニット用の2つの強力なコンピュータによって駆動されます。制御マシンは、自動プロセス最適化のためのマクロのペアなど、さまざまなプログラミング機能を提供しています。また、NIKON NSR-1755 I 7 Aは最大288のバイナリコントロールチャンネルと9軸の動作が可能です。このツールには、欠陥チップを正確に配置するための金型速度制御装置も含まれています。基板オートアライメントユニットは、基板と露出マスクの正確なアライメントを保証します。NSR-1755 I 7 Aのコンフォーマル露出資産は、高いスループット率と平均収量が99％を超えています。NSR 1755I7Aには、高精度のリニアフォトアライメントモデルも搭載しています。高速露光プロッタを備え、リアルタイム画像処理装置を備えています。ステッパーはまた、欠陥レビューのためのオンボードシステムと、マシンが複数の露出を処理できるようにする継続的なオファーと受け入れユニットをサポートしています。また、NSR 1755 I 7 Aには、露出プロセスを最適化するさまざまな高度な機能があります。X-シフト機能とY-シフト機能により、基板に対するマスクの正確な位置決めが可能です。また、差動焦点補正（DFC）機能により、ノイズ、フォーカス、歪みを自動的に補正します。自動投稿機能により、ウェーハの重要な寸法誤差を自動的に補正します。最先端の設計機能により、最大100分の1のマイクロメーターのアライメント精度と最大3D Z軸制御が可能になります。