中古 NIKON NSR 1755 i7A #9236936 を販売中

ニコンNSR 1755 i7Aは、集積回路の量産用に設計された大型リソグラフィ装置です。それは完全な分野、汚染無しおよび環境的にfriendlystepperです。NIKON NSR 1755I7Aは、半導体デバイスの製造において高いスループット、高精度、高い再現性を実現します。NSR-1755I7Aは500mmのスキャン場を使用し、0。5 μ m以下の残留スキャン場の偏差（RMS）を使用します。高解像度とスループットを維持しながら、1時間あたり最大25。3ウェーハのスキャンレートを実現します。焦点の有効層深度（DOF）は50 μ mを超え、レジスト配置平坦度は0。18 μ m以内です。このシステムによって達成された高分解能は、最大0。6 μ mの臨界寸法変動を可能にします。また、高度なレーザーオーバーレイアライメントユニットを備えており、レイヤー間のオーバーレイに最大0。1 μ mの精度を提供します。また、高感度レーザー汚染低減システムを搭載し、スループットと歩留まりの向上を実現しています。これは、リソグラフィ資産への粒子の侵入を抑制するウエハー汚染防止対策を内蔵しているため可能です。また、高度で高精度な振動低減システムを使用して、スキャン光学系および位置決めモデルに対する熱および電気的影響を制御します。このステッパーには、ユニークな二重露出装置、ディクォードヘッドスキャン、および高度な非深度フォーカス依存スキャンシステムも備えています。二重露光装置は、基板の反対側を同時に処理することができますが、焦点の深さに依存しないスキャン機は、DOFのずれによって連続した感光層が失敗する可能性を低減します。全体として、NIKON NSR-1755 I 7ステッパーは、最新技術の多くを備えた高度で信頼性の高いフォトリソグラフィーツールです。集積回路の量産において、高いスループット、高精度、高い再現性を提供します。その高度な設計により、高性能で信頼性の高い結果が得られ、幅広い集積回路デバイスを製造できます。