中古 NIKON NSR 1755 i7A #9235673 を販売中

NIKON NSR 1755 i7Aは、CMOSデバイスやその他の高感度集積回路の製造に使用するために設計された、高度なウェーハステッパーです。NIKONのLithographic Toolsの最先端300mm Advanced Performance Platformの一部です。ニコンNSR 1755I7Aは、ウェーハ安定化ユニット（WSU）と基板モーションステップドライブ（SMSD）で構成されたスキャンステージで設計されており、ウェーハの正確で再現性の高いスキャンを保証します。革新的な低収差デザインで設計された独自のNSR-S202B光学レンズを使用し、高速スキャンでも高解像度の画像を引き出します。NSR-1755I7Aは、ウェーハ表面の露出フィールドの正確な位置を確保するように設計された自動照明ユニットを備えています。また、光学部品の位置を直接制御することにより、露出フィールドの正確なアライメントを実現するように設計された6軸ビームステアリングユニットも含まれています。NSR 1755I7Aは、検査およびプロセス制御の精度と信頼性を向上させるために設計されたマルチレチクル検査メカニズムで設計されています。また、独自のリアクティブイオンエッチング（RIE）システムを搭載しており、ウエハ表面を正確にエッチングして最適な露光領域を実現しています。NSR 1755 i7Aは、プロセス変動監視ツールの包括的なスイートでも設計されています。これには、高速イメージベースオーバーレイ（IBO）機能が含まれており、ユーザーは最大歩留まりを確保するためにアライメント精度を監視および調整することができます。また、プロセスガス中の粒子、水分、その他の汚染物質のレベルを測定および制御するために設計された統合汚染制御システム（CCS）も含まれています。NSR 1755 I 7 Aは、ハイスループットスキャン駆動ウェーハ機能を提供するように設計されており、ユーザーはわずかな遅延で1つのプロセスから次のプロセスに急速に移動することができます。高度なモーションコントロールと洗練されたレンズ補正機能の両方を備えており、露出フィールドと解像度を正確に拡張するだけでなく、最適な結果を得るための正確なビームアライメントも可能です。さらに、NIKON NSR-1755 I 7 Aは、既存のファブと容易に統合できるように設計されています。NIKON NSR-1755I7Aは、今日の最先端のプロセスに卓越したパフォーマンスを提供するように設計されています。堅牢な機能により、ユーザーはNSR-1755 I 7 Aに依存して最高レベルの生産性を提供できます。