中古 NIKON NSR 1755 i7A #9212123 を販売中

ニコンNSR 1755 i7Aは、フォトリソグラフィのための最先端の生産ツールです。0。025 µmと小型の高度な1レベルおよび2レベル機能を実現できる高精度ウェーハステッパーです。この装置は、高スループット、処理能力、安定性を兼ね備えており、生産量の多い製造には非常に低い歩留まり損失をもたらします。ナノメートルオーバーレイと登録精度により、ダイ全体で優れたライン幅の制御と均一性を保証します。システムの中心には、ナノメートルの精度を維持しながら最大6Gの加速を提供する高精度の6軸モーションロボットがあります。1nm未満のトレース・ツー・トレースの再現性が可能です。さらに、高速フォトマスクチェンジャーと高精度の基板とマスクアライナーを搭載し、セットアップ時間を最小限に抑えます。NIKON NSR 1755I7Aには、アライメントとフォーカスの品質を正確に維持する可変自動レンズアライメントユニットや、ダイナミックレンジ2オーダーの高感度ワイドレンジ露光機などがあります。将来の要件を満たす拡張性とアップグレードも可能です。NSR-1755I7Aは、長いサイクル時間と幅広い基板のために設計されています。55〜253mmのウェーハを安全に加工できるように設計されており、エッジの収縮を最小限に抑えるために16°Cの低温で動作できます。また、ウェーハ1個あたり最大30個の露出を処理することができ、全体的なサイクル時間を短縮できます。機能豊富なNIKON NSR-1755 I 7 Aは、MEMS、オプトエレクトロニクスデバイス、半導体など、多くのフォトリソグラフィ用途に適しています。その高度な技術と高性能機能は、試作から量産まで、あらゆるサイズの生産に最適です。