中古 NIKON NSR 1755 i7A #9062547 を販売中

ニコンNSR 1755 i7Aは、研究開発用に特別に設計された高精度ウェーハステッパーです。5軸アライメント装置により、最大1ナノメートルの解像度でウェーハの最適な位置決めと正確なスキャンが可能です。2つの5。5kWランプ源と5 ″ NA 0。45照明を備えており、高スループットを実現しています。このシステムの主な特徴は、35の高ガンマ設定、17。55インチの最大フォトレジスト地上サイズ、およびX軸とY軸に沿った10ナノメートルの位置精度です。ニコンNSR 1755I7Aは、スループットと位置精度に優れています。また、0。5ミリ秒の超短露光時間を備えており、中性密度（ND）フィルタ設定の変化に対して露光エネルギーの出力レベルを安定に維持します。これにより、より正確でフラットなライン露出が可能になり、一貫性のある結果が得られます。NSR-1755I7Aには4つの反射防止制御パラメータがあり、パフォーマンスの最適化を可能にします。また、傾きとツイスト機能を備えた3Dスキャナを備えており、硬い寸法のウェハで高精度なスキャンを可能にします。このユニットはまた、細線幅のデバイスを製造する際に高い信頼性を提供する内蔵の冗長性を誇り、パターンの歪みを引き起こすことを防ぎます。イメージングに関しては、NIKON NSR 1755 I 7 Aは、優れた性能で暗視野イメージングの使用を可能にする高度なデジタルイメージキャプチャマシンを搭載しています。このツールはまた、高精度のアライメント登録を提供し、オーバーレイ測定、計測、検査などのアプリケーションに適しています。NSR-1755 I 7 Aは、優れたスループット、位置精度、信頼性、およびイメージング機能を求める人々にとって優れたウェーハステッパー資産です。フォトマスク、半導体デバイス、MEMSなど、さまざまな研究開発分野における高度なリソグラフィ用途に最適なプラットフォームです。