中古 NIKON NSR 1755 i7A #9062546 を販売中

NIKON NSR 1755 i7A
ID: 9062546
i-Line stepper, parts system.
ニコンNSR 1755 i7Aウェーハステッパーは、さまざまなウェーハパターンを作成するために設計された、コスト効率の高いリトグラフ機器です。ステッパーは、高度な光学技術を使用してウェーハをパターン化し、高価なフォトマスクの必要性を低減します。このステッパーは、トランジスタ、相互接続、およびDRAMなどのメンバーシップの製造プロセスに使用されます。ニコンNSR 1755I7Aウェーハステッパーは、高精度、高動的ステージを含むハイエンドのクローズドループ動作制御システムを備えています。ステージ面積は950mm、精度は0。1マイクロメートル。0。05度の回転精度を持ち、ウェーハパターニングに必要な非常に高速で正確なスキャンと位置決めが可能です。ステッパーはまた振動を減らすのを助ける真新しい光学単位を特色にします。NIKONの高度レンズ機械は0。51nmの優秀な決断および均一なdefocusの機能を提供します。NSR-1755I7Aウェーハステッパーには、ワンショット露出ツールと2ショット露出アセットが装備されています。ワンショット露出モデルは、マスクからウェーハへのデータ転送の露出時間を最小限に抑え、2ショット装置はスキャンを変形させることなく複数の露出を可能にします。ステッパーには特殊なNikonVisionパターン生成システムが付属しています。このパターン生成ユニットは、インタラクティブおよび自動マスクパターンの生成を提供し、インタラクティブなパターン調整動作と欠陥認識プログラムを備えています。欠陥認識プログラムは、ウェーハパターンの潜在的な欠陥を最小限に抑えるのに役立ちます。NIKON NSR-1755I7Aウェーハステッパーには、NikonStarと呼ばれる高度な制御機が組み込まれています。このツールは、テーブル位置、ウェーハフォーカス、露出時間など、必要なすべてのパラメータを制御します。このアセットにより、ウェーハアライメントの自動キャリブレーションが可能になり、傾きや操作の調整や修正も可能になります。ステッパーは、ウェーハパターニングのための信頼性の高い、費用対効果の高いリソグラフィーソリューションです。高度な光学技術、堅牢なモーションコントロールモデル、および正確で正確なウェーハパターニングを提供するニコンの特殊パターン生成装置を備えています。NSR-1755 I 7 Aウェーハステッパーにより、大量のウェーハパターンの生産を迅速かつ正確に行うことができます。
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