中古 NIKON NSR 1755 i7A #293681792 を販売中
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NIKON NSR 1755 i7A Wafer Stepperは、シングルデジットナノメートル機能を備えた高度な半導体チップの印刷用に設計された高解像度リソグラフィ装置です。最先端の光学技術を活用して、直径200mmまでの基板へのイメージングを可能にし、オーバーレイ精度の高い12Kおよび15K解像度を実現します。この精密システムには、さまざまなデバイスを素早く簡単にセットアップするための自動キャリブレーションと、迅速なプロトタイピングとプロセス最適化のための事前定義された機能のライブラリもあります。NIKON NSR 1755I7Aウェーハステッパーは、高度な光学ユニットを使用して、ニコンリソグラフィーシステムの最高の解像度と精度を実現しています。特許取得済みのNIS-AEAレンズは、独自の放射波長ArF光と先進的な全反射イメージングオプティクスを採用し、1桁ナノメートルの高解像度画像を実現しています。また、二軸オートアライメント機能を備えた変更されたマルチフォーカス光学で設計されており、高いオーバーレイ精度を保証します。また、NIKON HD-FSCは、自動キャリブレーションを備えたアルゴリズムで、ユーザーがさまざまなプロセスや設定を迅速かつ簡単に設定して、さまざまなデバイスをイメージングおよびテストすることができます。さらに、あらかじめ定義された機能のライブラリにより、プロセスを迅速に作成、テスト、および最適化することができます。ウェーハステッパーは、基板サイズNSR-1755I7A最大200mmまで、幅広いチップ設計に対応できます。高度な半導体チップの設計・生産要件を満たす高精度運転が可能で、コスト効率も向上します。このツールには、プロセス欠陥検査用の自動アセットと、スループットと効率を最適化する自動ジョブルーティングも備えています。NIKON NSR 1755 I 7 A Wafer Stepperは、最先端の光学技術とオートキャリブレーションおよび事前定義された機能を組み合わせた先進的なリソグラフィーモデルで、超高解像度、高いオーバーレイ精度、および半導体チップのコスト効率を向上させます。直径200mmまでの基板に対応し、12Kと15Kの解像度で1桁のナノメートルフィーチャーを撮影することができます。この精密機器は、あらかじめ定義された機能のライブラリを使用して、さまざまなデバイスとプロセスの最適化のための迅速かつ簡単なセットアップを可能にします。
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