中古 NIKON NSR 1755 i7A #293681785 を販売中

ニコンNSR 1755 i7Aは、精密マイクロリソグラフィ加工に最適な最先端ウェーハステッパー装置です。最新のアライナー、イメージング、照明技術を活用し、お客様に最高の精度と歩留まりを提供します。このシステムは、マスク上の任意の点で4nmの精度を達成することができる革新的なウェーハステージを備えており、1サイクルあたり最大1nmの再現性を備えています。これにより、手作業による介入が少なくなり、製品の寿命にわたって所有コストが削減されます。また、NIKON NSR 1755I7Aは、NA 1。35レンズユニットを使用して、高度な機能検出とオーバーレイ精度の向上のための画像の鮮明性を最大化しています。このレンズマシンは、重要な領域の電力規制のための4ミクロンのピッチ分解能を生成することもできます。高精度で再現性に加えて、高度なデジタル加工および光学加工テクノロジースイートNSR-1755I7A備えており、中間から高い複雑性まで幅広い機能をユーザーに提供します。その高度なデジタル加工機能には、150nmピッチ、マルチパターン加工、オートアライメント、部分露出などがあります。さらに、100nmピッチ、3D ワイドSOR/WOM露光、マルチアパーチャ露光などの光学加工機能を備えています。NIKON NSR-1755 I 7 Aは、アライナーのセットアップからポスト露出処理まで、ウェーハステッパーリソグラフィのプロセス全体を管理するように設計されています。また、さまざまな統合されたプロセスのトラブルシューティング機能（オプティカルアライメント、信頼性チェック、異常検出アルゴリズム）と、計測、シミュレーション、解析ツールの幅広い選択を提供しています。このツールは、最も複雑な半導体およびMEMS製造アプリケーションの要件に最適であり、高度な仕様（その高精度と再現性、強力なデジタル加工および光学加工テクノロジースイート、および統合されたプロセスのトラブルシューティング機能を含む）により、高度なウェハステッパーリソグラフィに最適なツールセットです。