中古 NIKON NSR 1755 i7A #293605713 を販売中
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ID: 293605713
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1990
Stepper, 6"
Wafer type: Flat and notch
Wafer loader type I and II
Carriers loading: Left and right
High and low pressure: 8 kgf/cm²
Reticle loader:
Mask size, 5"
Reticle library: 17 mm
Reticle stage:
RA Microscope
Position: 17.5 mm
FIA
LSA
Monitor
Interferometer type: 5517 A
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7Aは、直径300mmまでのウェーハにフォトポリマー層などを正確にパターン化するために設計されたハイエンドウェーハステッパーです。i7Aは、高度な光学系とナノマテリアルを使用してウェーハ上に微細な分解能パターンを作成するリソグラフィ装置です。このウェーハステッパーは、高速精密干渉イメージングレンズと優れた光学系を使用して、最大解像度を生成します。NIKON NSR 1755I7Aは、27 x 23。5インチの大型ワーキングエリアを有し、直径12インチまでの7インチウェーハおよびマスクプレートをサポートします。複数のウェーハを同時に処理できるため、処理時間の短縮とスループットの向上が可能です。ウェーハステッパーは、フォトポリマー、エポキシ樹脂、フォトレジストなど、さまざまな材料と互換性があります。NSR-1755I7Aは、精密なウェーハ加工に高度なイメージングとパターニング技術を使用しています。このデバイスは、プロセスを検査および制御するためのノンストップマルチセンサーユニットで設計されています。このマシンは、ゼロタッチ検査と-50°Cまでの超低温でウェーハ上の欠陥を検出、測定、および除去して金属移動を低減することができます。NIKON NSR-1755I7Aには、高精度の自動ステージ間アライメントツールを内蔵しています。また、ウェーハステッパーはエッジゾーンのアライメント機能を備えており、ウェーハの正確なアライメントと材料廃棄物の削減に役立ちます。アライメント解像度は±0.1µmです。さらに、NSR 1755 i7Aは1 µm/secの高速スキャン速度を提供し、幅広い生産ニーズに対応できます。データ管理資産と統合されており、プロセス全体をリアルタイムで監視できます。このモデルは、距離検出器と自動エラー検出装置と統合されており、ユーザーが簡単に処理エラーを見つけて排除するのに役立ちます。全体として、NIKON NSR-1755 I 7 Aは、最適な精度と最小コストで多種多様な材料に精密なパターンを生成するように設計されたハイエンドウェーハステッパーです。このデバイスは、半導体、MEMSなどのさまざまな業界での使用に適しています。
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