中古 NIKON NSR 1755 i7 #9053209 を販売中

NIKON NSR 1755 i7は、半導体、MEMS、 LED、および高度なパッケージングアプリケーションのデバイス製造用に設計された高精度ウェーハステッパーです。この次世代プラットフォームは、TSMCの主要なリソグラフィ専門家と協力して設計され、最も要求の厳しい生産要件に合わせてスループットを向上させました。NSR 1755 i7ウェーハステッパーは、ウェーハアライメントのために最大0。07ミクロンの焦点精度で、最大毎時90ウェーハのスループットで優れたスループットを提供します。複数のエンコーダを駆使した高度なステージ制御装置を搭載し、ステージを高速かつ正確に調整します。ウェーハステージには、ウェーハイメージの焦点を高精度に調整できるオートフォーカス機能も搭載しています。また、ウエハステッパーは高解像度のウエハチャック設計により、各種ウエハを取り扱う際の正確かつ再現性の高い性能を実現しています。このNIKON NSR 1755 i7プラットフォームは、非球面レンズ設計を利用した先進的な投影光学系でも設計されています。光学ユニットは5x5 mmレチクルモバイルマシンを使用しており、ステッパーと一緒に大量のマスクを使用することができます。また、画質を向上させるための回折低減を提供する偏光制御ツールを備えています。NSR 1755 i7には、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスと、ジョブシーケンスを簡単に設定し、パラメータを迅速かつ便利に変更できる自動ジョブエディタが装備されています。このステッパーには、ウェハカセットからウェハを自動的にロードおよびアンロードするロボットアセットと、精密ウェハハンドリング用のウェハチャッキングモデルが含まれています。NIKON NSR 1755 i7には、予防保守およびサービス要求管理のための包括的なメンテナンス管理機器も含まれています。また、露出の均一性とステッピングパフォーマンスを分析するためのデータロギング機能も提供します。SNFやFabMasterなどのさまざまなデータ検索ソースと互換性があり、OIF Laser Writer CHESS規格を完全にサポートしています。NSR 1755 i7は全体的に、半導体、MEMS、 LED、および高度なパッケージングアプリケーションのデバイス製造に優れたスループットと集中精度を提供するように設計された高精度ウェーハステッパーです。高度なプロジェクションオプティクス、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、自動化されたジョブエディタ、ロボットユニット、および包括的なメンテナンス管理マシンを備えたこのプラットフォームは、最も要求の厳しい生産要件のニーズを満たすように設計されています。