中古 NIKON NSR 1755 G7A #9299965 を販売中

NIKON NSR 1755 G7Aは、高度な半導体プロセス向けに設計されたウェーハステッパーです。NIKONの最先端ステッパーであり、ロジックとメモリデバイスの両方の製造に半導体業界で広く使用されています。NIKON NSR-1755G7Aは、長焦点距離と短焦点距離のデュアルスキャンシステムを備えています。様々なスキャン速度で高精度な画像配置精度と安定した動作を実現します。その強化された光学部品は、より高い解像度、改善された焦点、および正確なイメージングを提供します。ステッパーは最大フィールドサイズが12 「x 25」 （305mm x635mm）で、より大きなデバイス生産が可能です。NSR-1755 G7Aはまた、スループットを向上させるためのオプションの範囲を提供しています。ウェーハにレジストを印刷するためのオーバーコートマスク、高速アライメントのためのオートトップツーリングデバイス、マルチエクスポージャー自動焦点システムが含まれています。その他のオプションには、チップデバッグ用の高速ダウンロードCMOSメモリオプションと、画像配置精度を微調整するスループットコントロールドライバがあります。NSR-1755G7Aは、NIKON advanced Scanning and Modeling （SaM）ソフトウェアスイートの一部でもあります。NIKON NSR-1755 G7Aが作成したリソグラフィーパターンを解析・最適化するソフトウェアです。このソフトウェアは、ウェーハのアライメントを自動化し、プロセスエラーを検出し、エッジプロファイルを拡張するように設計されています。さらに、このソフトウェアは、露出予算の開発と管理、プロセスの改善の特定、生産計画のサポートにも使用できます。最後に、NSR 1755 G7Aには、レーザー干渉計が搭載されており、精度を測るだけでなく、非接触厚さ測定も可能です。ステッパーはウェーハの積み下ろし、平らで不均一な基質を扱うことも可能です。これらの機能により、大量生産や研究開発のための理想的なツールとなります。