中古 NIKON NSR 1755 G7A #9283666 を販売中

ニコンNSR 1755 G7Aは、ウェーハ表面にパターンを形成するために使用されるウェーハステッパーです。ステッパーは光源を使用してパターンをウェーハの表面にコピーして転送するフォトリソグラフィーマシンの一種です。NIKON NSR-1755G7Aは、高精度・低歪みでµm分解能を実現しています。0。3ミクロンという低機能サイズで高画質に便利な対称スキャン装置です。このシステムの広い視野と高い数値開口は、半導体IC製造などの高スループット用途に有益です。このユニットには、CCDカメラと露出制御機が装備されています。CCDカメラには、表面のアライメント調整と測定に使用される個別のピクセルセンサーが含まれています。Stepperには、200以上のジョブイメージを格納できる大量のメモリが装備されています。これにより効率が向上し、5.5TV/mm分解能で毎時90ウェーハを処理できるようになります。アセットは、最大22mmの入射光ビームサイズで、324 x 432mmのウエハエリアを露出できます。NSR-1755 G7Aは、ほぼ完璧な精度で高解像度のパターンを作成することができます。歪みを継続的に調整し、生成されたフィーチャーの精度を保証する自動補正モデルを搭載しています。また、振動低減機能を搭載し、システムの性能をさらに向上させています。このマシンには「低遅延マルチエクスポージャー」ユニットが装備されており、双方向データ状況に特に便利です。NIKON NSR-1755 G7Aはオープンフィールドマシンであり、無制限の操作と設計とプロセス統合の完全な柔軟性を可能にします。それに過熱から部品を安全保つ作り付けの空冷用具があります。アセットは、微細なレベルまで振動を低減するために、統合された空気軸受ステージで設計されています。また、作動中の安定した温度を維持するための温度制御装置を搭載しています。NSR 1755 G7Aは、高性能と高精度を提供する強力で高度なウェーハステッパーです。低歪みで正確なイメージングを実現し、完全な設計とプロセス統合を可能にする高度な機能を備えています。インストール、使用、構成が簡単で、高速スループットで一貫して高品質で低ディストーション機能を提供できます。