中古 NIKON NSR 1755 G7A #9227621 を販売中

NIKON NSR 1755 G7Aは、先進的なフォトマスクの開発と製造のために設計された最先端のウェーハステッパーです。この装置は、優れたフォトマスクイメージング品質、高いスループット、および低コストの所有権を提供します。最大175mmのスキャンフィールドを提供できます。このシステムは、解像度が1。00nmまでの幅広い露光バリエーションを提供します。また、ユーザーが正確かつ高スループットのフォトマスクを生産するための最大の柔軟性を提供します。NIKON NSR-1755G7Aには、コンパクトでシングルコラムスキャンステージと高精度の光学ユニットが搭載されており、マスクとウェーハのアライメントを高速かつ正確に行うことができます。キセノンライトで構成された長寿命の照明源と、ヘミサインソイドで光をスキャンすることができるプレセッションムーブメント光学機器を搭載しています。これにより、ハイスループットと均一な照明が保証されます。また、NIKON独自のスキャニングレーザー干渉計（SLI）技術を採用し、ステッピングツールにおけるこれまでにない精度と再現性を実現しています。この高精度光学資産はレーザー光の干渉による位置変位を測定し、様々な露光環境において優れた精度を提供します。さらに、このモデルは、NIKON NSR lithoプラットフォーム内の他のコンポーネントとのインタフェースを容易にする国際的なリソグラフィーCAD （CLIP）規格に準拠しています。また、Darkfield Imaging、 Contact Printing、 Laser-Scan Mask Cutting、 Substrate Scanningなどの多くのリソグラフィープロセス技術もサポートしています。装置の高度な画像処理機能は、高精度の検出、特性評価、およびリソグラフィ欠陥およびその他の重要な機能の再構築を保証します。また、NSR-1755 G7Aは操作性を向上させるGUIも備えており、操作が容易です。多言語シーケンスエディタ（OPL）を搭載し、さまざまなプロセス要件に対応しています。自動偽アラーム検出、レチクルマッチング、アライメント公差の改善、低消費電力プリアライメントなど、複数の機能オプションを備えています。全体として、NSR 1755 G7Aは、今日のより厳しいフォトマスク開発および製造プロセスの要件を満たすように設計された、高度なウェーハステッパーです。優れた光学精度、高スループット、低コストの動作により、高度なリソグラフィ要件に最適なソリューションです。