中古 NIKON NSR 1755 G7A #9226367 を販売中

ニコンNSR 1755 G7Aは、高度なテレセントリックオプティクスと最大アライメント精度の高度な180°シャッターを備えた5軸ウェーハステッパーです。高い防塵性能により、微粒子の侵入を防ぎ、信頼性の高いウェーハ加工を実現しています。NIKON NSR-1755G7Aは、0。1 μ m/ピクセル解像度と21nmのショットサイズ精度で高精度かつ高速なパターン生成を実現するとともに、低フットプリント・高生産性設計を実現しています。ステッパーは、200 mmと300 mmの両方の基板を取り扱うためのデュアルチャッキング機構を備えています。最大7個のカセットを収納できる大容量カセットローダーを搭載し、シームレスな基板搬送を実現し、時間の損失を防ぎ、生産効率を向上させます。ステッパーは、優れた解像度、正確なアライメント、および最適化されたスループットを容易にするように設計されています。180°シャッター機能により高精度なアライメントを実現し、各露光現場で形成されるラインのアライメントを改善します。シャッターアングルは微調整パターンに合わせて簡単に調整できます。さらに、デュアルチャッキング方式により、システム全体のスループットを低減し、200 mmと300 mmの両方の基板の効率的な処理を実現します。NSR-1755 G7Aを使用して、ユーザーは、リソグラフィ、ウェーハ露出、フィルム開発、プラズマエッチングなどのさまざまなプロセスモジュールにアクセスできます。リソグラフィーモジュールは、ウェーハの5軸モーションと各種センシング機能を提供し、機能の正確な露出を可能にします。ウェーハ露出モジュールは、0。1 μ m/pixelの解像度で高精度な印刷が可能で、シングルレーションによる粉体損失があります。フィルム開発モジュールは、最適化されたカセット搬送システムで高生産性の処理も提供します。最後に、プラズマエッチングモジュールは、10 μ mの解像度で機能をエッチングする機能をユーザーに提供します。NIKON NSR-1755 G7Aは、精密リソグラフィやウェーハ加工に最適な高性能ウェーハステッパーです。高度なテレセントリック光学、180°シャッター、および効率的な基板処理のためのデュアルチャッキング機構を備えています。ステッパーは、0。1 μ m/ピクセル解像度と21nmのショットサイズ精度で、高精度で高速なパターン生成が可能です。さまざまなプロセスモジュールを備えたNSR 1755 G7Aは、優れた解像度とスループットで小さな機能を微調整するための理想的な機器です。