中古 NIKON NSR 1755 G7A #9206241 を販売中

ニコンNSR 1755 G7Aは、優れた工具性能、高精度、優れた生産性で知られる業界で認められているウェーハステッパーです。それはマイクロエレクトロニクスの製作の企業の小さい、複雑な装置の製作のために広く利用されています。ステッパーは光学コラムアセンブリ、照明装置および露出ヘッドの3つの主要な部品から成っています。光学柱アセンブリは正確な画像配置を保証し、照明システムは露光に使用される光の強度を制御します。露出ヘッドは、ウェーハの移動、露出制御、イメージステッチを担当します。NIKON NSR-1755G7Aには、比類のないスループットとウェーハ間の均一性を実現するように設計された先進的な光学系が含まれています。それは0。035ミクロンに近づく最低の平均正方形の間違いの高解像度のイメージを作り出すことができます。NSR-1755 G7Aは、最高10,000ステップ/秒のスキャン速度と最大0。6ミクロンの精度で、高精度で高いスループットを実現するよう設計されています。ステッパーは1392nmの光学技術を使用し、軸外および斜めの照明の使用を可能にし、困難なプロセス制御の適用の改善された対照を可能にするために露出の緯度を拡大しました。完全に統合されたアライメントおよび配置登録システムを備えた拡張パターニング機能を提供し、同時に精度と品質を向上させます。さらに、NIKON NSR-1755 G7Aは、高度なメンテナンスと欠陥検査機能により、生産とデータの信頼性を向上させます。ADR （Automatic Defect Review）ユニットを内蔵しており、多くの種類の潜在的欠陥を正確に検出し分類することができます。ADRマシンは、高解像度で20種類以上の欠陥を分析および分類する高度な能力を提供します。NSR 1755 G7Aは、信頼性と正確な性能により、高度なリソグラフィ用途に最適なツールです。コンパクトで軽量な設計と高いスループット能力を兼ね備えており、優れた精度を確保しつつ、効率を高め、スループットを向上させたい半導体メーカーにとって優れた選択肢となっています。